Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В - 21 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

21
D:=3.85*exp(-3.66/(k*T))
end;
function fi(x:real):real ;
begin
fi:=xj*xj/(4*ln(Q/(Ci*sqrt(pi*x))))
end;
BEGIN
xj:=3.5e-4;
Ci:=1.25e15;
Cs:=1.0e21;
TE1:=1050+273;
TE2:=1150+273;
t1:=600;
D1:=D(TE1);
D2:=D(TE2);
Q:=2*Cs*sqrt(D1*t1/pi);
DT1:=1e-11;
repeat
DT0:=DT1;
DT1:=fi(DT0);
until abs(DT1–DT0)/DT1<=eps;
t2:=DT1/D2/60;
writeln(`время разгонки равно`,t2:8:2,`мин`)
END.
В результате решения по данной программе время диффузии на
стадии разгонки составляет 113.97 мин или около 2 часов.
2. На стадии загонки примеси в германий из бесконечного источника , равного
предельной растворимости диффузианта в подложке, рассчитать и построить:
а) зависимость дозы легирования от времени диффузии в диапазоне от
10 минут до 1 часа при 850
0
С;
б) зависимость дозы легирования от температуры в диапазоне от 700
0
С до
точки плавления при времени загонки 0.5 часа .
3. При диффузии цинка в арсенид галлия из бесконечного источника с
поверхностной концентрацией , равной предельной растворимости ,
определить время диффузии для получения дозы легирования 10
13
см
-2
при
температуре 900
0
С.
4. При какой температуре диффузии галлия в германий в течение 40 минут из
бесконечного источника с концентрацией , равной предельной растворимости ,
будет сформирован примесный слой мощностью 5
213
10
−
⋅ см
?
5. В кремниевой пластине р-типа с исходной концентрацией 5
314
10
−
⋅ см
диффузией
мышьяка из ограниченного источника мощностью 10
12
см
-2
формируется р -n 
                                                    21

               D:=3.85*exp(-3.66/(k*T))
                end;
               function fi(x:real):real ;
               begin
               fi:=xj*xj/(4*ln(Q/(Ci*sqrt(pi*x))))
               end;
               BEGIN
               xj:=3.5e-4;
               Ci:=1.25e15;
               Cs:=1.0e21;
               TE1:=1050+273;
               TE2:=1150+273;
               t1:=600;
               D1:=D(TE1);
               D2:=D(TE2);
               Q:=2*Cs*sqrt(D1*t1/pi);
               DT1:=1e-11;
                 repeat
                  DT0:=DT1;
               DT1:=fi(DT0);
                 until abs(DT1–DT0)/DT1<=eps;
                 t2:=DT1/D2/60;
               writeln(`врем яразгон к и равн о`,t2:8:2,`м и н `)
               END.


               В резу л ьтате решен и я по дан н ой програм м е врем я ди ф ф у зи и н а
     стади и разгон к и составл яет 113.97 м и н и л и ок ол о 2 часов.

2. На стади и загон к и при м еси в герм ан и й и з беск он ечн ого и сточн и к а , равн ого
    предел ьн ой раствори м ости ди ф ф у зи ан та в подл ожк е, рассчи тать и построи ть:
    а) зави си м ость дозы л еги рован и я от врем ен и ди ф ф у зи и в ди апазон е от
       10 м и н у т до 1 часа при 850 0С;
    б) зави си м ость дозы л еги рован и яот тем перату ры в ди апазон е от 700 0С до
       точк и пл авл ен и япри врем ен и загон к и 0.5 часа.
 3. При ди ф ф у зи и ци н к а в арсен и д гал л и я и з беск он ечн ого и сточн и к а с
    поверхн остн ой              к он цен траци ей , равн ой предел ьн ой раствори м ости ,
    определ и ть врем я ди ф ф у зи и дл я пол у чен и я дозы л еги рован и я 1013 см -2 при
    тем перату ре 900 0С.
 4. При к ак ой тем перату ре ди ф ф у зи и гал л и яв герм ан и й в течен и е 40 м и н у т и з
    беск он ечн ого и сточн и к а с к он цен траци ей , равн ой предел ьн ой раствори м ости ,
    бу дет сф орм и рован при м есн ый сл ой м ощн остью 5 ⋅ 1013 см −2 ?
 5. В к рем н и евой пл асти н е р-ти па си сходн ой к он цен траци ей 5 ⋅ 1014 см −3 ди ф ф у зи ей
    м ышьяка и з огран и чен н ого и сточн и к а м ощн остью 1012 см -2 ф орм и ру етсяр-n

Страницы