Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В - 3 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

3
СОДЕРЖАНИЕ
1. Распределение примеси при двухстадийной диффузии ..……………….…4
2. Распределение примеси при двойной последовательной диффузии …… 6
3. Поверхностное сопротивление легированных слоев ……………………… 10
3.1. Определение поверхностного сопротивления диффузионного слоя
на стадии загонки ……………………………………………………… ... 12
3.2. Определение поверхностного сопротивления диффузионного слоя
на стадии разгонки ……………………………………………………… . 15
4. Определение режимов диффузии по заданным параметрам
распределения примеси ..…………………………………………………… 18
Литература …………………………………………………………………………23 
                                                  3




                                         СО ДЕ РЖ АНИ Е


1. Распредел ен и е при м еси при дву хстади й н ой ди ф ф у зи и   ..… … … … … … .… 4

2. Распредел ен и е при м еси при двой н ой посл едовател ьн ой ди ф ф у зи и   … …   6

3. Поверхн остн ое сопроти вл ен и е л еги рован н ыхсл оев … … … … … … … … …         10

  3.1. О предел ен и е поверхн остн ого сопроти вл ен и яди ф ф у зи он н ого сл оя
        н а стади и загон к и … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ... 12

  3.2. О предел ен и е поверхн остн ого сопроти вл ен и яди ф ф у зи он н ого сл оя
        н а стади и разгон к и … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … . 15

4. О предел ен и е режи м ов ди ф ф у зи и по задан н ым парам етрам
     распредел ен и япри м еси ..… … … … … … … … … … … … … … … … … … … …              18

Л и терату ра … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 23

Страницы