Расчёт и проектирование гибридных микросхем. Дикарев Ю.И. - 23 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

23
R
H
= 2 кОм; R
= 1 Ом / ; ρ
K
= 0,15 Ом / мм
2
; b = 0,28 мм; ℵ
Rk
= 4 %;
∆l = 100 мкм; γ = 50 мкм.
1. По формуле (1.26) определяем допустимое сопротивление контактного
перехода
.=
⋅
⋅
= Ом 40
1002
20004
R
Kmin
2. Согласно отношению (1.25), минимальное значение переходного
сопротивления
.,=
,
⋅,
= Ом 743
280
1000150
R
Kmin
3. Так как оказалось, что R
Кmin
> Rкдоп , то увеличим ширину резистора до
310 мкм. Тогда
.,=
,
⋅,
=
′
Ом 539
310
1000150
R
Kmin
4. Затем по (4.27) определяем минимальную длину перекрытия контактного
перехода
.=⋅,=
,
,=
−
мкм 18мм1081
1000
150
51l
2
Kmin
5. Определяем длину перекрытия с учетом погрешностей изготовления масок
и их совмещения
1
K
= 18 + 100 + 50 = 168 мкм.
Принимаем 1
K
= 200 мкм.
1.2. ПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ
Конструктивно пленочные конденсаторы выполняются в виде трехслойных
структур металл-диэлектрик -металл или металл-диэлектрик -полупроводник
и состоят из проводящих верхней и нижней обкладок , разделенных слоем
диэлектрического материала. Принципиально возможно конструировать
конденсаторы и в виде многослойной структуры, однако при этом возрастает
вероятность брака и их стоимость .
62
Рис 2.3 Вид на резистивный слой .
                                           RH = 2 к Ом; R = 1 Ом/ ; ρK = 0,15 Ом/ мм2; b = 0,28 мм; ℵRk = 4 %;
                                           ∆l = 100 мк м; γ = 50 мк м.

                                           1. П о фор мул е (1.26) опр ед ел яем д опустимое сопр отив л ение к онтак тного
                                           пер еход а
                                                                                       4 ⋅ 2000
                                                                            R Kmin =            = 40 Ом.
                                                                                        2 ⋅ 100

                                           2. С огл асно отноше нию (1.25), минимал ьное знач е ние пе р е ход ного
                                           сопр отив л ения
                                                                                     0,15 ⋅ 1000
                                                                       R Kmin =                  = 43,7 Ом.
                                                                                        0, 28


                                           3. Так к ак ок азал ось, ч то RКmin > Rк д оп , то ув ел ич имшир инур е зистор а д о
                                           310 мк м. Тогд а
                                                                                     0,15 ⋅ 1000
                                                                       R ′Kmin =                 = 39,5 Ом.
                                                                                        0,31

                                           4. Затемпо (4.27) опр ед ел яемминимал ьную д л инупер ек р ы тия к онтак тного
                                           пер еход а
                                                                                    0,15
                                                                   lKmin = 1,5           = 1,8 ⋅10− 2 мм= 18 мк м.
                                                                                   1000
                                           5. Опр ед ел яемд л инупер ек р ы тия с уч етомпогр ешностейизготов л ения масок
                                           и их сов мещения
                                                                       1K= 18 + 100 + 50 = 168 мк м.
                                           П р инимаем1K = 200 мк м.


                                                                 1.2. П Л ЕН ОЧ Н Ы Е КО Н Д ЕН САТО Р Ы

                                           Констр ук тив но пл еноч ны е к онд енсатор ы в ы пол няются в в ид е тр ехсл ойны х
                                           стр ук тур метал л -д иэ л ек тр ик -метал л ил и метал л -д иэ л ек тр ик -пол упр ов од ник
                                           и состоятиз пр ов од ящих в ер хней и нижней обк л ад ок , р азд ел енны х сл оем
                                           д иэ л е к тр ич е ск ого мате р иал а. П р инципиал ьно в озможно к онстр уир ов ать
                                           к онд енсатор ы и в в ид е многосл ойнойстр ук тур ы , од нак о пр и э томв озр астает
Р и с 2.3 Ви д на рези ст и вны й слой .   в ер оятность бр ак а и их стоимость.
                  62                                                                      23

Страницы