Расчёт и проектирование гибридных микросхем. Дикарев Ю.И. - 24 стр.

               1.2.1. Конст рукци и п леночны х конд енсат оров

   В зав исимости от тол щины пл е нок , пр име няе мы х пр и изготов л е нии,
р азл ич аюттонкоп леночны е и толстоп леночны е к онд енсатор ы . Н а р ис. 1.7
пр ив е д е ны наибол е е р аспр остр ане нны е к онстр ук ции пл е ноч ны х
к онд енсатор ов . Констр ук ции, изобр аженны е на р ис. 1.7 (а - в ) испол ьзуются
д л я к онд енсатор ов с бол ьшой емк остью. В э тих к онстр ук циях неточ ность
сов мещения обк л ад ок мал о ск азы в ается на изменении емк ости, так к ак к онтур
д иэ л ек тр ик а заход итза пр ед е л ы обеих обк л ад ок . Н е бол ьшое изменение
емк ости в пер в ы х д в ух к онстр ук циях в озможно за сч етизменения в к л ад а
емк ости в ы в од а в ер хней обк л ад к и пр и ее смещении относител ьно нижней.
Д л я устр анения э той погр ешности с пр отив опол ожной стор оны в ы в од а
в ер хнейобк л ад к и д ел аюткомп енса тор (р ис. 1.7 в ). С ов р еменная технол огия
позв ол яетпол уч ить тонк опл еноч ны е к онд енсатор ы с емк остью д о 105 пФ .
Так ие к онд е нсатор ы могутиме ть сл ожную фигур ную к онстр ук цию. Э то
позв ол яе т к онстр ук тор у пр и р азр аботк е топол огии ИМ С пол ностью
испол ьзов ать св обод ны е уч астк и пл ощад и под л ожк и.

   Тол стопл ёноч ны е к онд енсатор ы , к ак пр ав ил о, изготов л яютпр ямоугол ьной
(к в ад р атной) фор мы бе зк омпенсатор ов с емк остью 50 — 2500 пФ и д опуск ом
±15 %.
   П р и в ы бор е к онстр ук ции пл еноч ного к онд енсатор а необход имо уч иты в ать,
ч то на в ы сок их ч астотах ( > 10 М Гц) е го емк ость пад ает. П р ич е м пр и
д в устор оннемр аспол ожении в ы в од ов (р ис. 1.7 а) э тотспад меньше, ч емпр и
од ностор оннем (р ис. 1.7 б). Констр ук ция, изобр аженная на р ис. 1.7 г,
испол ьзуется д л я пл еноч ны х к онд енсатор ов небол ьшой емк ости (д е сятк и
пФ ). Обы ч но д л я ее пол уч ения д остаточ на пл ощад ь в заимного пер ек р ы тия
пе р е се к ающихся к оммутационны х пр ов од ник ов , р азд е л е нны х пл е нк ой
д иэ л ек тр ик а.
    П р и ак тив ной пл ощад и к онд енсатор а менее 5 мм2 нач инаетск азы в аться
кр а евой эф ф ект, поэ тому пр и пл ощад и в е р хне й обк л ад к и менее 1 мм2
р е к оме нд уе тся испол ьзов ать к онстр ук цию, в ы пол не нную в в ид е
посл ед ов ате л ьно соед ине нны х к онд е нсатор ов (р ис. 1.7 д ). П р и мал ы х
е мк остях (д ол и и ед иницы пФ ) испол ьзуютгр ебе нч атую (р ис1.7 е ) ил и
п олосковую фор мы .                                                                       Р и с 2.2 Ч ерт ё ж общ его ви д а т оп ологи и ГИМ С.
                                          24                                                                        61