Расчёт и проектирование гибридных микросхем. Дикарев Ю.И. - 26 стр.

                                                                                                                                     Д л я од ного пр ов од ник а       0,2х0,15
                                                                                                                                  0,04 д л я д в ухпр ов од ник ов     0,25х0,25
                                                                                                                                       д л я тр ехпр ов од ник ов       0,25х0,4
                                                                                                                                      Д л я од ного пр ов од ник а      0,25х0,2
                                                                                                                                  0,05 д л я д в ухпр ов од ник ов      0,3х0,3
                                                                                                                                       д л я тр ехпр ов од ник ов       0,3х0,5


                                                                                                •   - М - масоч ны й метод изготов л ения пл еноч ны х э л ементов
                                                                                                •   - Ф - фотол итогр афич е ск ий
                                                                                                •      - М Ф - сов ме стны й (масоч ны й и фотол итогр афич е ск ий)

                                                                                                          2. 1.7. О ценка качест ва разработ ки т оп ологи и ГИМ С

                                                                                                     Разр аботанная топол огия д ол жна : соотв етств ов ать пр инципиал ьной
                                                                                                э л ек тр ич е ск ойсхеме; уд овл етв ор ять в семк онстр ук тив нымтр ебов аниям; быть
                                                                                                состав л ена так имобр азом, ч тобы д л я изготовл ения мик р осхемы тр ебов ал ась
                                                                                                наибол ее пр остая и д ешев ая технол огия; обе спеч ить зад анны й те пл ов ой
                                                                                                р е жим и в озможность пр ов е р к и э л е ме нтов в пр оце ссе изготов л е ния.
                                                                                                Е мк остны е и инд ук тив ны е св язи не д ол жны нар ушать нор мал ьную р аботу
                                                                                                схемы пр и зад анны хусл ов иях э к спл уатации.
                                                                                                     П р и пр ов ер к е пр ав ил ьности р азр аботк и топол огии ГИМ С пр инимают
                                                                                                так ой пор яд ок . П р ов ер яютсоотв етств ие топол огии пр инципиал ьной схеме;
                                                                                                в не шних к онтак тны х пл ощад ок - в ы в од ам к ор пуса; к онстр ук тив но-
                                                                                                технол огич е ск им тр е бов аниям и огр анич е ниям, р асч е тны м знач е ниям
              Р и с. 1.7. Конст рукци я п лё ночны х конд енсат оров
                                                                                                пл е ноч ны х э л е ме нтов . Е сл и р азр аботанная топол огия не отв е ч ае т
                                                                                                пр е д ъяв л е нны м тр е бов ания м, то в не е в нося тся соотв е тств ующ ие
   Д иэ л е к тр ич е ск ая пр оницае мость зав иситотмате р иал а, те мпе р атур ы ,
                                                                                                к ор р ек тив ы .
ч астоты и напр яженности пол я.
                                                                                                     П р оце сс пр ое к тир ов ания ГИМ С зак анч ив ае тся офор мл е ние м
Электр ическа я п р очность Е П Р д иэ л е к тр ич е ск их пл е нок хар ак тер изуется
                                                                                                к онстр ук тор ск о-технол огич е ск ой д ок уме нтации. Она в к л юч ае т в се бя
напр яженностью э л ек тр ич е ск ого пол я, пр и к отор ой пр оисход итл ок ал ьное
                                                                                                основ ной к омпл ек тд ок ументов , к омпл ек ты д ок ументов на состав ны е ч асти
р азр ушение д иэ л ек тр ик а с обр азов аниемпр ов од ящего к анал а: Е П Р = UП Р / d ,
                                                                                                ГИМ С, инстр ук ции по э к спл уатации, в ед омость пок упны хи д р . В основ ной
гд е UП Р - п р обив ное на п р яж ение, d -толщ ина диэлектр ика . П р обой
                                                                                                к омпл е к т д ок уме нтов в ход ят: пр инципиал ьная э л е к тр ич е ск ая схе ма,
д иэ л ек тр ич е ск ихпл енок в ы зы в ается, к ак тепл ов ы ми, так и э л ек тр ич е ск ими
                                                                                                функ ционал ьная схема, сбор оч ны й ч ер теж, ч ер теж общего в ид а топол огии,
пр оце ссами. Те пл ов ой пр обой обусл ов л е н э к споне нциал ьны м р остом
                                                                                                посл ойны е топол огич е ск ие ч ер тежи, ч ер теж стр ук тур ы э л ементов ГИМ С.
э л ек тр опр ов од ности д иэ л ек тр ик а пр и пов ы шении его темпер атур ы .

                                            26                                                                                           59