Расчёт и проектирование гибридных микросхем. Дикарев Ю.И. - 27 стр.

- к р ая д р угого э л еме нта      0,4     0,4     0,4                                                                                      Т аблиц а1.3
- к р ая нав есного                 0,6     0,6     0,6
пассив ного к омпоне нта                                                  Свой ст ва д и элект ри чески х м ат ери алов д ля п леночны х
- к р ая к онтак тной                                                                                     конд енсат оров
пл ощад к и,                        0,4     0,4     0,4
                                                           М атериал            ε,          Е   ПР⋅   10− 6,     tgδ ⋅ 103,   С 0 ⋅ 10−3,    Т К Е ⋅104,
пр е д назнач е нной д л я
пр ив ар к и пр ов ол оч ных                                                f = 1 КГц            В /см           ƒ = 1 КГц    пФ /см2          1/гр ад
в ыв од ов                                                                                                                                  Т=-60÷+85° С
- пр ов ол оч ного                  0,3     0,3     0,3
                                                           SiО2                  4                 10                              20             2
пр ов од ник а
                                                           SiO                6−8                 1−2              1−2         5 − 10          1−2
- л уже нного пл еноч ного          0,2     0,2     0,2
                                                           GeO               10 − 12            0,5 − 0,8          5−7         5 − 20          3−5
э л еме нта
М инимал ьны е р азме р ы                                  А l2О3               10                 9             0,3 − 1,5     30 − 80         1,5 − 5
к онтак тны хпл ощад ок д л я             0,2х0,2          Та2O5             21 − 27                  5             10             100         2−3
к онтр ол я э л е к тр ич е ск их                          TiO2             30 − 100              0,24              26        10 − 100            3
пар аме тр ов , мм.                                        Sb2S3             18 − 21            0,3 − 0,5         4 − 10       1 − 1,5            5
М инимал ьны е    р азмер ы                                А СС             5,2 − 5,5            3−5                 3             30            1,5
к онтак тны х   пл ощад ок ,
                                                           БСС              3,9 − 4,2            3−5                 1             15            0,2
мм,       д ля   к онтр ол я
в нешних в ыв од ов пр и
                                                           ИБ С              10 − 12             2−3                 7             60             5

шаге ихр аспол ожения:                                     П аста
                        0,625 мм          0,4х0,4          П К-12                        UП Р ≥ 150 В            30 − 40          10           ±10
                        1,250 мм          1х0,4            П аста
                          2,5 мм          1х0,4            П К1000-30                    UП Р ≥ 150 В              36             3,7          ±10
М инимал ьное р асстояние
ме жд ук онтак тными                        0,2           А СС- ал юмосил ик атное стек л о
пл ощад к ами д л я пр ив ар к и                          Б СС- бор осил ик атное стек л о, в состав к отор ого в ход ит15% В 2О3 и 85% SiО2
и пр ипайк и пр ов ол оч ных                              И Б С- иттр ий-бор итное стек л о
пр ов од ник ов , мм.
                                                              Э л ек тр ич е ск ий пр обой обусл ов л ен туннел ьны мпер еход омэ л ек тр онов в
М инимал ьны е р азме р ы                                 зону пр ов од имости из в ал е нтной зоны , с пр име сны х ур ов не й ил и
к онтак тны хпл ощад ок д л я
                                                          метал л ич е ск ихэ л ек тр од ов , а так же л ав инны мр азмножениемэ л ек тр онов за
пр ив ар к и пр ов ол оч ных
                                                          сч е т уд ар ной ионизации в в ы сок их э л е к тр ич е ск их пол ях. П оэ тому
в ыв од ов нав есны х
                                                          е сте ств енно ожид ать, ч то Е         буд етувеличива ть ся с ув ел ич ением шир ины
к омпоне нтов пр и                                                                          ПР

д иаме тр е пр ов ол ок и, мм:
                                                          запр е ще нной зоны д иэ л е к тр ик а. Кр оме того, Е              ПР
                                                                                                                                   зав иситот тол щины
                                                          д иэ л ек тр ик а, а так же матер иал а обк л ад ок к онд енсатор а.
         58                                                                                                 27