Расчёт и проектирование гибридных микросхем. Дикарев Ю.И. - 31 стр.

     П осл е р азр аботк и э ск иза топол огии пр оизв од ится оценк а ее соотв етств ия    испол ьзуемы х матер иал ов . Она опр ед ел яется потер ями в д иэ л ек тр ик е и в
э л ек тр ич е ск им, к онстр ук тив ны м и технол огич е ск им тр ебов аниям. Н а э том    обк л ад к ах к онд енсатор а
э тапе р азр аботк и необход имо те сное в заимод ейств ие межд ур азр аботч ик а-
ми схемы , к онстр ук тор ами и технол огами. Н а зав ер шающем э тапе р ассч и-                                  Q = (tgδ)-1 = (tgδg + tgδобкл)-1,                        (1.34)
ты в аюттепл ов ой р ежим мик р осхемы, пар аметр ов над ежности и техник о-
                                                                                            гд е tgδобкл − та нгенс угла п отер ь в обкла дка х и вы вода х к онд енсатор а;
э к ономич е ск ие пок азател и. П р и необход имости в топол огию в носятизме -
нения. Ок онч ател ьны й в ар иантэ ск иза топол огии в опл ощается в в ид е топо-                                  tgδобкл = 2π ⋅ ƒр аб(rобкл + rВ ) ⋅ С ,               (1.35)
л огич е ск ого ч ер тежа, на пер в омл исте к отор ого в сегд а р азмещается ч ер теж
общего в ид а с изобр ажениемв сех сл оев од нов р еменно. Н а общемв ид е то-              rобкл - п оследова тель ное соп р отивление обкла док;
пол огии обязател ьно пр остав л яютпозиционные обознач ения э л ементов мик -
                                                                                            rВ - соп р отивление вы водов.
р осхемы согл асно пр инципиал ьнойэ л ек тр ич е ск ойсхеме. Кр оме общего в ид а
на пер в ом л исте топол огич е ск ого ч ер тежа пр ив од яттехнич е ск ие тр ебов а-       С опр отив л ение rобкл зав иситотк онстр ук ции к онд енсатор а, пр ов од имости
ния и табл ицы , в к отор ы х помещаютд анны е по изготов л ению отд ел ьны х               мате р иал ов обк л ад ок , их ге оме тр ич е ск их р азме р ов , а так же к ар тины
сл оев и в ел ич инахэ л ек тр ич е ск ихпар аметр ов э л ементов мик р осхемы, пол у-      р аспр ед ел ения л иний ток а в обк л ад к ах. Д л я к онд енсатор ов с 2-хстор онним
ч аемы х по э томуч ер тежу. Н а р ис.2.2 пок азан пр имер офор мл ения ч ер тежа           р аспол ожениемв ы в од ов rобкл ≈ (rон + rов )/3,
общего в ид а топол огии тонк опл еноч ной гибр ид ной мик р осхемы. П р и в ы -
пол нении уч ебны х зад аний можно огр анич иться тол ьк о ч ер тежом общего                гд е rон и rов - соп р отивление ниж ней и вер хней обкла док. Д обр отность
в ид а топол огии бе зтабл иц и технич е ск их тр ебов аний.                                пл еноч ного к онд енсатор а Q = 10 ÷ 100. В пр ак тич е ск их р асч е тах tg δ -
                                                                                            сп р а вочна я величина .
     П о ч ер тежу, общего в ид а топол огии в ы пол няютч ер тежи на отд ел ьны е
                                                                                            Танге нс угл а д иэ л е к тр ич е ск их поте р ь суще ств е нно зав иситотч астоты
сл ои и р аспол агаютихна сл ед ующихл истах. П о э тимч ер тежамзатемизго-
                                                                                            сигнал а и те мпе р атур ы ок р ужающе й ср е д ы . Н а р ис 1.10 пр ив е д е на
тов л яютфотошабл оны и маск и, необход имы е д л я фор мир ов ания к онфигу-
                                                                                            э к спер иментал ьная зав исимость tgδ = tgδ(f) пл еноч ного к онд енсатор а на
р аций э л ементов мик р осхемы, П р и р азр аботк е топол огии ГИМ С основ ны м
                                                                                            основ е напы л енной ок иси ал юминия.
способом зад ания ме стопол ожения э л ементов и их геометр ич е ск их р азме -
р ов яв л яется способ пр ямоугол ьны х к оор д инат. В ер шины фигур э л ементов
р аспол агаютв точ к ах пер е сеч ения л иний к оор д инатной сетк и и нумер уют
ар абск ими цифр ами. Контур к ажд ого э л емента, нач иная с л ев ого нижнего
угл а, обход ятпо ч асов ойстр ел к е. П р и отсутств ии ме ста на пол е ч ер тежа д л я
нумер ации в ер шин э л ементов д опуск ается пр остав л ение номер а тол ьк о у
л ев ого нижнего угл а. Коор д инаты в ер шин э л ементов помещаютв табл ицу,
к отор ая, к ак пр ав ил о, р аспол агается на ч ер теже сл оя. Од нак о так ую табл ицу
р азр ешается офор мл ять и в в ид е отд ел ьного самостоятел ьного д ок умента.
     П р и в ы пол нении уч ебны хр азр аботок в к ач е ств е к оор д инатной сетк и р е-    Р и с. 1.10. Эксп ери мент альнаязави си мост ьtgδ конд енсат ора от част от ы
к оменд уется испол ьзовать мил л иметр овую бумагу. За шагк оор д инатнойсетк и            В озр астание tgδ на низк их ч астотах обусл ов л ено сопр отив л ениемутеч к и и
сл ед ует в ы бир ать 0,5 мм. П осл ойны е ч ер те жи д опуск ае тся в ы пол нять           р ел ак сационны ми потер ями, а на в ы сок их ч астотахр остомэ к в ив ал ентного

                                          54                                                                                          31