Расчёт и проектирование гибридных микросхем. Дикарев Ю.И. - 30 стр.

UptoLike

Составители: 

30
С
Н
= К С
0
S , (1.31)
где К - коэффициент, учитывающий влияние краевого эффекта
;≤,
>
=
2
2
мм51 если
;мм5 если 1,
K
0,06 - 1,3
0
С
н
С
0
С
н
С
0
С
н
С
Емкость гребенчатого конденсатора определяется по формуле
; lС
2
+
=
21
εε
β
(1.32)
Где β - коэффициент, определяемый из графика (рис. 1.9);
ε
1
, ε
2
- диэлектрическая проницаемость материала подложки и среды ;
l - длина совместной границы 2-х проводников гребенки.
Рис.1.9. Коэффициент β
2.Рабочее напряжение U
Р
обеспечивается подбором материала
диэлектрической пленки с необходимыми значениями Е
ПР
и толщины пленки
d. Толщина пленки d, выбираемая из условия обеспечения заданного U
Р
,
определяется из выражения
d = η⋅U
Р
/ Е
ПР
, (1.33)
где η - коэффициент запаса обеспечивающий надежностные характеристики.
Для пленочных конденсаторов коэффициент запаса выбирается равным 2 ÷ 10.
Коэффициент запаса η = 5 ÷ 10 выбирается для расчета конденсаторов
повышенной надежности .
3. Добротность пленочного конденсатора Q зависит от его конструкции и
55
на листах белой бумаги . Причем таблицы координат элементов составляют
лишь в тех случаях, когда это оговорено в задании.
Таблица 2.2
Конструктивные и технологические ограничения при
проектировании тонкопленочных ГИМС
Размер
ограничения,
мм
Элемент
Топологии
Содержание ограничений
М Ф МФ
1 2 3 4 5
Точность изготовления
линейных размеров
пленочных элементов и
расстояний между ними
l,
b,
a,
A,
В при их
расположении в одном
слое , мм.
±
0,01
±
0,01
±
0,01
Минимально допустимый
размер резистора, мм
b
0,2
0,1
0,2
l
0,3 0,1 0,3
Минимально допустимые
расстояния между
пленочными элементами
расположенными :
в одном слое а, мм
0,3
0,1
0,3
в разных слоях
с
, мм 0,2 0,1 0,2
Максим
альное допустимое
соотношение размеров
10
100
30
Минимальный размер
перекрытия контактных
переходов 1
К
0,2
0,1
0,2
Минимальное расстояние
от пленочных элементов
до края платы d , мм.
0,5
0,2
0,5
                              С Н = К ⋅ С0 ⋅ S ,                                   (1.31)   на л истахбел ой бумаги. П р ич емтабл ицы к оор д инатэ л ементов состав л яют
                                                                                            л ишь в тех сл уч аях, к огд а э то огов ор ено в зад ании.
гд е К- к оэ ффициент, уч иты в ающий в л ияние к р аев ого э ффек та
                                                                                                                                                                       Т аблиц а2.2
                                  Сн                                                           Конст рукт и вны е и т ехнологи чески е ограни чени я п ри
                        1, е сл и С > 5мм ;
                                                 2



                                   0                                                                   п роект и ровани и т онкоп леночны х ГИМ С
                     K =
                        1,3 - 0,06 Сн , е сл и 1 ≤ Сн ≤ 5мм ;   2                                                                                                     Разме р
                                    С0             С0                                                 Э л е ме нт            С од е р жание огр анич е ний       огр анич е ния,
                        
                                                                                                      Топол огии                                                         мм
Е мкость гр ебенча тогоконденса тор а опр ед ел яется по фор мул е
                                                                                                                                                                  М      Ф  МФ
                                     ε1 + ε 2
                              С=β               ⋅ l;                              (1.32)                   1                                2                     3      4   5
                                         2                                                                                     Точ ность изготов л е ния
                                                                                                                                 л ине йны хр азме р ов
Гд е β - коэф ф ициент, опр ед ел яемы йизгр афик а (р ис. 1.9);
                                                                                                                               пл е ноч ны х э л е ме нтов и    ±0,01 ±0,01 ±0,01
    ε1, ε2 - диэлектр ическа я п р оница емость ма тер иа ла подлож ки и ср еды ;                                              р асстояний ме жд уними
    l - длина совместнойгр а ницы 2-х п р оводников гр ебенки.
                                                                                                                              ∆l, ∆b, ∆a, ∆A, ∆В пр и их
                                                                                                                                р аспол оже нии в од ном
                                                                                                                                       сл ое , мм.
                                                                                                                              М инимал ьно д опустимы й
                                                                                                                                р азме р р е зистор а, мм
                                                                                                                                                               b 0,2     0,1     0,2
                                                                                                                                                               l 0,3     0,1     0,3
                                                                                                                             М инимал ьно д опустимы е
                                                                                                                             р асстояния ме жд у
                            Р и с.1.9. Коэффи ци ент β
                                                                                                                             пл е ноч ны ми э л е ме нтами
2.Ра бочее на п р я ж ение U Р обе спе ч ив ае тся под бор ом мате р иал а
                                                                                                                             р аспол оже нны ми:
д иэ л ек тр ич е ск ойпл енк и с необход имы ми знач ениями Е        и тол щины пл енк и
                                                                 ПР                                                               в од номсл ое а, мм            0,3     0,1     0,3
d. Тол щина пл енк и d, в ы бир аемая из усл ов ия обе спеч ения зад анного UР ,
                                                                                                                                 в р азны хсл ояхс, мм           0,2     0,1     0,2
опр ед ел яется изв ы р ажения
                                                                                                                             М ак симал ьное д опустимое
                                  d = η⋅UР / Е       ПР
                                                          ,                       (1.33)                                      соотноше ние р азме р ов 1/а 10           100      30
гд е η - коэф ф ициент за па са обе спеч ив ающийнад ежностны е хар ак тер истик и.                                             М инимал ьны й р азме р
Д л я пл еноч ныхк онд енсатор ов к оэ ффициентзапаса в ыбир ается р ав ным2 ÷ 10.                                            пе р е к р ы тия к онтак тны х     0,2     0,1     0,2
Коэ ффициентзапаса η = 5 ÷ 10 в ы бир ается д л я р асч ета к онд е нсатор ов                                                          пе р е ход ов 1К
                                                                                                                             М инимал ьное р асстояние
пов ы шенной над ежности.
                                                                                                                             отпл е ноч ны х э л е ме нтов       0,5     0,2     0,5
3. Добр отность п леночногоконденса тор а Q зав иситотего к онстр ук ции и                                                   д о к р ая пл аты d , мм.

                                          30                                                                                         55