Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 160 стр.

(рис. 4.2.4,д). Этот эффект связан с увеличением концентрации
активных частиц в плазме в результате быстрой смены обедненного
реагента свежим газом и ускорением доставки активных частиц к
обрабатываемой поверхности. При значительном увеличении потока
наблюдается спад скорости травления вследствие того, что активные
частицы будут уноситься потоком из зоны реакции и откачиваться
вакуумной системой, прежде чем успеют вступить в химическую
реакцию с материалом подложки.
     При проведении ПТ важен выбор не только рабочего газа, но и
добавок к нему, которые, не принимая непосредственного участия в
процессе травления, могут существенно увеличить эффективность
использования основного газа (рис. 4.4.2,е). Основным механизмом
влияния газа-добавки на скорость ПТ является увеличение
концентрации ХАЧ в реакторе, которое может реализоваться через:
1) уменьшение вероятности рекомбинации ХАЧ на стенках реактора и
2) увеличение скорости генерации ХАЧ. Последний механизм может
реализоваться как через появление дополнительных каналов диссоциации
молекул при взаимодействии с возбужденными частицами газов-добавок,
так и через увеличение скорости диссоциации электронным ударом при
изменении электрофизических параметров плазмы.
     Наличие эффекта увеличения скорости травления при подаче на
обрабатываемый материал смещения как отрицательной, так и
положительной полярности (рис. 4.4.2,ж) свидетельствует о том, что
процесс ПТ одинаково эффективно активируется как ионной, так и
электронной бомбардировкой. Хотя оба этих фактора затрудняют
адсорбцию ХАЧ, они оказывают стимулирующее действие на
химическую реакцию на поверхности и десорбцию продуктов
взаимодействия. При подаче положительного смещения определенную
роль могут играть отрицательные ионы, которые рекомбинируют на
поверхности с образованием нейтральных ХАЧ.
     Параметр Pd (рис. 4.4.2,з) или d λe представляет собой меру
количества столкновений, которое претерпевает электрон на пути к
стенке реактора. Поэтому E P ∝ eEλe есть мера энергии, принимаемой
электроном от электрического поля между двумя последовательными
столкновениями, и определяет величину средней энергии электронов
при данном расстоянии между электродами. При Pd > 1 скорость ПТ
растет с увеличением объема зоны плазмы, а при Pd < 1 это изменение
прекращается из-за увеличения E P и концентрации ХАЧ.
     Влияние поперечного магнитного поля (рис. 4.4.2,и) связано с
изменением траектории движения электрона (закручивания в спираль) и
увеличением частоты столкновений, приводящих к образованию ХАЧ.

                                160