Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 180 стр.

высокоэнергетичной ионной бомбардировки , привели к созданию
триодных и магнетронных систем. В триодной системе (рис. 4.7.1,в)
вблизи электрода, на который подается ВЧ напряжение, помещена
электрически изолированная от катода сетка, находящаяся под
плавающим потенциалом. При этом образуется своеобразный полый
катод, наличие которого в 3 - 4 раза увеличивает плотность ионов
между сеткой и ВЧ электродом и, в то же время, в 4 – 5 раз снижает
напряжение автосмещения на ВЧ электроде. Кроме того, малое
расстояние между сеткой и ВЧ электродом (∼ 15 мм) обеспечивает
устойчивое горение тлеющего разряда при напряжении автосмещения
20 В. Характерные для триодной системы высокие скорости травления
в сочетании с низкими энергиями ионов позволяют значительно
уменьшить радиационные дефекты.




Рис. 4.7.1. Наиболее распространенные системы РИПТ: 1 – рабочая
камера, 2 – заземленный электрод, 3 – ВЧ электрод, 4 – заземленный
экран, 5 – обрабатываемые пластины, 6 – линия откачки, 7 – линия
напуска газа, 8 – триодная сетка, 9 – магнитная система

                               180