Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 20 стр.

цессов и впоследствии был распространён и на другие процессы.
Связь между коэффициентом скорости процесса и таунсендовским
кинетическим коэффициентом определяется следующим соотноше-
нием:

                                  VE
                           k =α      ,                     (1.31)
                                  N

где VE - скорость дрейфа электронов, N - концентрация «тяжелых»
частиц. Обычно в литературе приводятся экспериментальные данные
по зависимости приведённого таунсендовского коэффициента α/N от
приведённой напряжённости поля Е/N. Однако литературные значе-
ния таунсендовских коэффициентов могут быть корректно использо-
ваны в условиях газовых разрядов, если имеется уверенность, что
функции распределения энергий электронов идентичны в условиях
электронного роя, где производится обычно измерение таунсендов-
ских коэффициентов, и в газоразрядной плазме.

 1.4. Уравнение непрерывности. Кинетика и концентрации
                активных частиц в плазме

     Любые эффекты взаимодействия плазмы с обрабатываемой по-
верхностью формируются под действием потоков на эту поверхность
активных частиц плазмы. В общем случае, под активными частицами
следует понимать любые частицы, не характерные для данного газа в
нормальных условиях, но образующие и существующие непосредст-
венно в условиях плазмы. В качестве активных частиц плазмы могут
выступать: 1) свободные атомы и радикалы в основном и возбужден-
ном состояниях, 2) колебательно- и электронно- возбужденные моле-
кулы, 3) положительные и отрицательные ионы, 4) электроны и кван-
ты собственного УФ излучения плазмы. В условиях неизотермиче-
ской плазмы концентрация каждого сорта активных частиц определя-
ется не термодинамическим равновесием, а стационарным состояни-
ем, возникающим вследствие конкуренции различных процессов об-
разования (генерации) и гибели (рекомбинации) активных частиц. В
этом, кстати, и заключается основная отличительная черта плазмен-
ных процессов – выход активных частиц или целевого продукта реак-
ции значительно больше термодинамически равновесного, рассчи-
танного по температуре газа. Например, степень диссоциации моле-
кулярного газа в плазме может достигать стационарных значений,

                               20