Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 234 стр.

при хранении образцов для того, чтобы свести к минимуму эффект
«старения».
      С перестройкой поверхности полимера связывают и снижение
смачиваемости ПП, обработанного в плазме азота. Предполагают, что
этот процесс связан с кристалличностью и наиболее выражен у
аморфных полимеров. Макромолекулы в высокорегулярной области
обладают меньшей сегментальной подвижностью, чем в аморфных
областях. Процессы, приводящие к снижению подвижности
макромолекул, например, образование сшивок в аморфных участках,
могут стабилизировать поверхностные свойства полимера.
      Другой механизм определяет «старения» ПЭ, обработанного в
плазме азота. Исследования временных изменений химического состава
поверхностного слоя показали, что в течение 1 мин выдержки на
воздухе состав поверхности изменился следующим образом: О1s, N1s и
С1s с 2.7; 20.0 и 78.3% до 3.6; 18.8 и 77.6% соответственно. В течение
последующих 6 дней содержание азота не изменялось, а количество
кислорода увеличивалось. Предполагается, что при хранении образца на
воздухе происходят два процесса. Первый - относительно быстрый
гидролиз по азотосодержащим группам при взаимодействии с
атмосферными парами воды:

                    С=NH + H2O → C=O + NH3
                   C=N–R + H2O → C=O + H2N–R
                   C–NH2 + H2O → C–OH + NH3 ,

где доминирует последняя реакция. Второй процесс, более длительный,
- это постепенное окисление полимерной цепи.
      Можно выделить еще один механизм, обусловливающий
изменение краевого угла смачивания при хранении полимеров – это
стекание электрических зарядов, внедренных в полимер в ходе
взаимодействия с плазмой.

                         5.5. Заключение

     Воздействие ННГП на органические (полимерные) материалы
приводит к изменению морфологии поверхности, образованию новых
функциональных групп, появлению ненасыщенных связей и радикалов,
возникновению поперечных связей (сшивок) между цепями
макромолекул и, наконец, к травлению (деструкции) полимера с
образованием газообразных продуктов.
     Наиболее распространенным процессом плазменной обработки
полимерных материалов в технологии микроэлектроники является
                                 234