Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 238 стр.

объемный (окружающая его плазма). Поскольку методы получения
информации чрезвычайно разнообразны, в данной главе мы
остановимся только на некоторых наиболее универсальных «объемных»
методах, которые в наибольшей степени отвечают следующим
требованиям: обеспечивают контроль физико-химических параметров
обрабатываемой поверхности (скорости травления, регистрация
моментов начала и окончания процессов); осуществляют контроль
основных параметров плазмы; обладают высокой эксплуатационной
надежностью, малыми габаритами и легкостью встраивания в
технологическое оборудование.

                 6.2. Метод зондов Лангмюра

       Зондовый метод, разработанный Лангмюром и Мотт-Смитом,
применяется для измерения параметров плазмы на протяжении
полувека. Метод основан на анализе вольт-амперной характеристики
(ВАХ) зонда, погружённого в плазму. Принципиальная схема зондовых
измерений и типичный вид зондовой характеристики приведены на рис.
6.2.1.




Рис. 6.2.1. Схема зондовых измерений и типичный вид ВАХ одиночного
зонда
                               238