Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 237 стр.

являются процессы с участием электронов. Поэтому если в реакторе
заданной геометрии функция распределения электронов по энергиям
остается неизменной, то можно ожидать, что состояние системы и
продукты реакции будут однозначно определены. К сожалению, в
настоящее время имеющиеся экспериментальные методы определения
ФРЭЭ имеют в своей основе столько ограничений по требованиям к
параметрам плазмы (диапазону давлений, концентраций электронов,
наличию шумов плазмы), что их использование вряд ли возможно в
промышленных установках. Теоретический анализ кинетического
уравнения Больцмана (решением которого является ФРЭЭ) на
инвариантность ФРЭЭ показал, что существует набор параметров
плазмы, поддержание которых обеспечивает неизменность вида ФРЭЭ.
В частности, такими параметрами (инвариантами) являются: E N -
приведенная напряженность электрического поля, Nd - произведение
общей концентрации частиц на характерный размер реактора, состав
газа и вероятности взаимодействия активных частиц с поверхностью.
      Экспериментальная проверка выводов теории для плазмы
благородных газов, которые химически не реагируют с поверхностью, и
для которых число инвариантов следовательно невелико подтвердила
выводы теории. Для плазмообразующих газов, обычно применяемых в
технологии, такой подход нереален, поскольку слишком большое число
параметров надо контролировать и некоторые из них неизвестно как
контролировать (например, характеристики взаимодействия с
поверхностью). Ввиду невозможности решения задачи контроля в
общем виде в настоящее время применяется следующий подход.
Проводится предварительное исследование процесса с определением
зависимости его скорости от внешних задаваемых условий разряда. В
ходе исследования определяют один или несколько параметров,
которые связаны со скоростью процесса, устанавливают вид этой связи.
Если это возможно, устанавливают количественную взаимосвязь
параметров контроля с внешними условиями разряда. В последнем
случае метод контроля будет носить активный характер, так как он
позволяет не только определить момент окончания процесса, но и
активно вмешиваться в его ход путем изменения внешних условий
разряда для поддержания оптимальной скорости и времени протекания.
К сожалению, разработанные в настоящее время методы имеют
преимущественно пассивный характер и определяют только момент
окончания. Недостаток вышеотмеченного подхода заключается в том,
что полученные результаты справедливы только для данного реактора и
данного процесса.
      В основе выбора параметров контроля лежат два физических
источника информации: гетерогенный (обрабатываемая поверхность) и
                                237