Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 27 стр.

UptoLike

27
такого процесса является достаточно большим только в диапазоне
энергий
'
thrthr
εε K , а образующиеся нейтральные фрагменты находятся
в возбужденном состоянии. Из-за того, что в области
x
RR
<
потенци-
альная кривая отрицательного иона
AB
лежит выше потенциальной
кривой нейтральной молекулы
,
AB
параллельно распаду отрицатель-
ного иона
+
B
A
AB
будет иметь место процесс автоотлипания
e
AB
AB
+
. Последний процесс является более быстрым, скорость
его примерно в
e
mM 100 раз (
BABA
MMMMM
+
=
выше скоро-
сти первой реакции. Диссоциативный характер прилипания электрона
к двухатомной молекуле сохраняется и в случае когда происходит
возбуждение стабильного состояния отрицательного иона, как это по-
казано на рис. 1.4.2,б, процессы
a
и
'
a
, когда энергия возбуждения
превышает энергию диссоциации. Для некоторых молекул (например,
галогенов) энергия сродства электрона к атому превышает энергию
диссоциации нейтральной молекулы (рис. 1.4.2,с). В этом случае в
возбуждении состояния
AB
могут участвовать электроны с очень
низкими энергиями или, другими словами, процесс прилипания имеет
беспороговый характер. Сечение такого процесса велико ( 10
-16
см
2
),
а вероятность автоотлипания очень низка.
а
б
в
Рис. 1.4.2. Механизмы диссоциа-
тивного прилипания электрона к
двухатомной молекуле: а-захват
электрона в отталкивательное со-
стояние; б-захват электрона в ус-
тойчивое состояние; в-захват
медленного электрона в отталки-
вательное состояние
Каждому из перечисленных механизмов захвата электронов со-
ответствует обратный процесс отрыва электрона. Сводка механизмов
ε
`
thr
ε
thr
R
A+B
A+B
-
ε
affB
ε
diss
a
a`
ε
`
thr
ε
thr
A+B
A+B
-
ε
affB
a
a`
ε
diss
ε
affB
A+B
A+B
-
  такого процесса является достаточно большим только в диапазоне
  энергий ε thr Kε thr ' , а образующиеся нейтральные фрагменты находятся
  в возбужденном состоянии. Из-за того, что в области R < Rx потенци-
  альная кривая отрицательного иона AB − лежит выше потенциальной
  кривой нейтральной молекулы AB, параллельно распаду отрицатель-
  ного иона AB − → A + B − будет иметь место процесс автоотлипания
  AB − → AB + e . Последний процесс является более быстрым, скорость
  его примерно в M me ∼ 100 раз ( M = M A M B (M A + M B ) выше скоро-
  сти первой реакции. Диссоциативный характер прилипания электрона
  к двухатомной молекуле сохраняется и в случае когда происходит
  возбуждение стабильного состояния отрицательного иона, как это по-
  казано на рис. 1.4.2,б, процессы a и a ' , когда энергия возбуждения
  превышает энергию диссоциации. Для некоторых молекул (например,
  галогенов) энергия сродства электрона к атому превышает энергию
  диссоциации нейтральной молекулы (рис. 1.4.2,с). В этом случае в
  возбуждении состояния AB − могут участвовать электроны с очень
  низкими энергиями или, другими словами, процесс прилипания имеет
  беспороговый характер. Сечение такого процесса велико (∼ 10-16 см2),
  а вероятность автоотлипания очень низка.


ε`thr
εthr
                              A+B             ε`thr                          A+B
                                εaffB
                                                      a`             εaffB
         a` a                                 εthr                           A+B-
                             A+B- εdiss                    a
                  Rx                          б
  а
                                              Рис. 1.4.2. Механизмы диссоциа-
                                              тивного прилипания электрона к
                                              двухатомной молекуле: а-захват
                       A+B                    электрона в отталкивательное со-
                             εdiss            стояние; б-захват электрона в ус-
                                     εaffB
                                              тойчивое состояние; в-захват
                             A+B-
                                              медленного электрона в отталки-
  в                                           вательное состояние

       Каждому из перечисленных механизмов захвата электронов со-
  ответствует обратный процесс отрыва электрона. Сводка механизмов

                                             27