Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 29 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

29
diss
b
ε
ε
≈
'
. В последнем случае продукты диссоциации будут иметь
энергии, близкие к тепловым.
2. Возбуждение стабильного состояния, из которого возможна пре-
диссоциация – переход в пересекающееся с ним нестабильное со-
стояние. Предиссоциация характерна для таких молекул, как азот,
окись углерода. Вероятность предиссоциации очень велика для
многоатомных (трёх, четырёх и более) молекул (переход
c
).
3. Возбуждение стабильного состояния с последующим каскадным
переходом в состояние, принадлежащее первым двум типам (пере-
ход
c
). Зависимости сечений диссоциации от энергии электронов в
данном случае соответствуют закономерностям процесса возбуж-
дения.
Кроме диссоциации при электронном ударе, распад молекул
может иметь место при протекании пеннинговских процессов вида
C
B
A
C
AB
+
+
+
*
, при наличии в плазме долгоживущих возбуж-
денных частиц
*
C
, энергия возбуждения которых превышает энергию
диссоциации
AB
. К диссоциации приводят и ряд процессов, связан-
ных с образованием заряженных частиц, например диссоциативная
ионизация (характерный процесс для многоатомных молекул) и дис-
социативное прилипание, которое было рассмотрено выше. Послед-
ний процесс может служить важным каналом образования атомов при
разряде в галогенах. Механизм диссоциативной ионизации на приме-
ре процесса
e
B
A
e
AB
2
+
+
+
+
может быть проиллюстрирован дан-
ными рис. 1.4.4.
Рис. 1.4.4. Механизмы диссоциативной ионизации и рекомбинации
A+B
A+B
+
a
A+B
+
A
B
c
b
ε
iz
ε
diz
ε
d
`
ε
d
1
3
2
4
0
  ε b' ≈ ε diss . В последнем случае продукты диссоциации будут иметь
   энергии, близкие к тепловым.
2. Возбуждение стабильного состояния, из которого возможна пре-
   диссоциация – переход в пересекающееся с ним нестабильное со-
   стояние. Предиссоциация характерна для таких молекул, как азот,
   окись углерода. Вероятность предиссоциации очень велика для
   многоатомных (трёх, четырёх и более) молекул (переход c ).
3. Возбуждение стабильного состояния с последующим каскадным
   переходом в состояние, принадлежащее первым двум типам (пере-
   ход c ). Зависимости сечений диссоциации от энергии электронов в
   данном случае соответствуют закономерностям процесса возбуж-
   дения.
     Кроме диссоциации при электронном ударе, распад молекул
может иметь место при протекании пеннинговских процессов вида
AB + C * → A + B + C , при наличии в плазме долгоживущих возбуж-
денных частиц C * , энергия возбуждения которых превышает энергию
диссоциации AB . К диссоциации приводят и ряд процессов, связан-
ных с образованием заряженных частиц, например диссоциативная
ионизация (характерный процесс для многоатомных молекул) и дис-
социативное прилипание, которое было рассмотрено выше. Послед-
ний процесс может служить важным каналом образования атомов при
разряде в галогенах. Механизм диссоциативной ионизации на приме-
ре процесса AB + e → A + B + + 2e может быть проиллюстрирован дан-
ными рис. 1.4.4.


                                              4
                     εdiz                          A+B+
               εd`
                            εd                 3
                     εiz                  2        A+B+

                                 b a c



                                                    A+B
                                          1
               0
                                 AB
Рис. 1.4.4. Механизмы диссоциативной ионизации и рекомбинации

                                         29

Страницы