Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 28 стр.

UptoLike

28
отрыва может быть представлена в следующем виде: 1) столкновение
отрицательного иона с возбужденным атомом; 2) фотоотрыв; 3)
столкновение с электронами, быстрыми ионами или молекулами; 4)
столкновение с ионами и молекулами малой энергии; 5) ассоциатив-
ный отрыв при столкновении с нейтральными атомами.
Диссоциация. Диссоциация представляет собой процесс фраг-
ментации молекулярных компонент плазмы с образованием свобод-
ных атомов и/или радикалов ненасыщенных многоатомных частиц.
Основным механизмом диссоциации в условиях ННГП являются
процессы под действием электронного удара, идущие через возбуж-
дение электронных состояний молекул, при этом могут реализовы-
ваться три случая (рис. 1.4.3):
Рис. 1.4.3. Механизмы диссоциации молекул в плазме
1. Возбуждение нестабильного состояния (не имеющего минимума в
пределах потенциальной кривой, переходы
a
и
'
a
) или переход в
отталкивательную ветвь потенциальной кривой стабильного со-
стояния (
b
и
'
b
). Для процессов
a
и
'
a
соответствующие порого-
вые энергии составляют
a
ε
и
'
a
ε
, при этом энергия после диссо-
циации (то есть энергия, распределяемая между фрагментами) со-
ставляет
dissa
ε
ε
и
diss
a
ε
ε
'
. Обычно эта разница составляет не-
сколько электрон-вольт, поэтому продукты диссоциации часто об-
разуются в возбужденном состоянии. Аналогичная ситуация на-
блюдается и для процесса
b
, в то время как для процесса
'
b
отрыва может быть представлена в следующем виде: 1) столкновение
отрицательного иона с возбужденным атомом; 2) фотоотрыв; 3)
столкновение с электронами, быстрыми ионами или молекулами; 4)
столкновение с ионами и молекулами малой энергии; 5) ассоциатив-
ный отрыв при столкновении с нейтральными атомами.
     Диссоциация. Диссоциация представляет собой процесс фраг-
ментации молекулярных компонент плазмы с образованием свобод-
ных атомов и/или радикалов – ненасыщенных многоатомных частиц.
Основным механизмом диссоциации в условиях ННГП являются
процессы под действием электронного удара, идущие через возбуж-
дение электронных состояний молекул, при этом могут реализовы-
ваться три случая (рис. 1.4.3):




        Рис. 1.4.3. Механизмы диссоциации молекул в плазме
1. Возбуждение нестабильного состояния (не имеющего минимума в
   пределах потенциальной кривой, переходы a и a ' ) или переход в
   отталкивательную ветвь потенциальной кривой стабильного со-
   стояния ( b и b ' ). Для процессов a и a ' соответствующие порого-
   вые энергии составляют ε a и ε a , при этом энергия после диссо-
                                      '


   циации (то есть энергия, распределяемая между фрагментами) со-
   ставляет ε a − ε diss и ε a − ε diss . Обычно эта разница составляет не-
                           '


   сколько электрон-вольт, поэтому продукты диссоциации часто об-
   разуются в возбужденном состоянии. Аналогичная ситуация на-
   блюдается и для процесса b , в то время как для процесса b '

                                    28