Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 73 стр.

пробега электрона и, следовательно, энергия, приобретаемая электро-
нами между столкновениями. Оба этих фактора оказывают конкури-
рующее влияние на вероятность ионизации, то есть работают в про-
тивоположных направлениях. Напряжение зажигания уменьшается
при уменьшении работы выхода электронов из катода (коэффициент
γ зависит от работы выхода), а также при добавлении к основному
газу легкоионизируемой примеси. Последнее может быть связано как
с меньшим потенциалом ионизации примеси, так и с эффектом Пен-
нинга, когда метастабильные атомы основного газа ионизируют ато-
мы или молекулы примеси. Закон Пашена может нарушаться при
сильном уменьшении давления газа, когда средняя длина свободного
пробега становится соизмеримой с расстоянием между электродами.
Кроме того, отклонения от закона Пашена наблюдаются и при давле-
ниях больше 1 атм, когда разряд развивается в виде искры.

    2.2. Тлеющий разряд постоянного тока. Особенности
            катодных областей тлеющего разряда

     Для тлеющего разряда постоянного тока характерно наличие
двух резко различающихся участков: небольшой по протяжённости
катодной области, в которой имеется большое падение потенциала, и
положительного столба, представляющего собой собственно плазму.
На рис. 2.2.1 показаны основные области тлеющего разряда и распре-
деление потенциала по длине разрядного промежутка.




Рис. 2.2.1. Структура и распределение потенциала в тлеющем разряде:
1 - астоново тёмное пространство; 2 - катодное свечение; 3 - круксово
тёмное пространство; 4 - тлеющее свечение; 5 - фарадеево тёмное
пространство; 6 - положительный столб; 7 - анодное тёмное про-
странство; 8 - анодное свечение


                                 73