Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 71 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

71
становятся настолько мощными, количество ионов, возникающих в
объёме столь велико, что эмиссия электронов из катода под действи-
ем ионной бомбардировки обеспечивает разряд. Таким образом, вы-
ражение
(
)
(
)
11exp
=
−
d
α
γ
является условием, при котором разряд пе-
реходит из несамостоятельного в самостоятельный. Это условие име-
ет следующий физический смысл: разряд становится самостоятель-
ным, если один выходящий из катода электрон порождает такое ко-
личество положительных ионов, которые приходя, к катоду, выбива-
ют из него не менее одного электрона.
Рис. 2.1.3. Коэффициенты вторичной электронной эмиссии для неко-
торых металлов (по данным работы Chapman B. Glow Discharge Proc-
esses: Sputtering and Plasma Etching. John Wiley & Sons, New York,
1980)
Ранее было отмечено, что коэффициенты P
α
и
γ
являются
функциями приведённой напряжённости поля PE . Учитывая это, ус-
ловие перехода разряда из несамостоятельного в самостоятельный
можно записать:
(
)
(
)
(
)
[
]
11exp
21
=
−
PEPdfPEf . (2.15)
Напомним, что речь идёт о моменте, предшествующем разви-
тию разряда, когда объёмный заряд электронов и ионов ещё невелик и
существенного влияния на распределение потенциала между электро-
дами не оказывает. При этом распределение потенциала можно счи-
становятся настолько мощными, количество ионов, возникающих в
объёме столь велико, что эмиссия электронов из катода под действи-
ем ионной бомбардировки обеспечивает разряд. Таким образом, вы-
ражение γ (exp(αd ) − 1) = 1 является условием, при котором разряд пе-
реходит из несамостоятельного в самостоятельный. Это условие име-
ет следующий физический смысл: разряд становится самостоятель-
ным, если один выходящий из катода электрон порождает такое ко-
личество положительных ионов, которые приходя, к катоду, выбива-
ют из него не менее одного электрона.




Рис. 2.1.3. Коэффициенты вторичной электронной эмиссии для неко-
торых металлов (по данным работы Chapman B. Glow Discharge Proc-
esses: Sputtering and Plasma Etching. John Wiley & Sons, New York,
1980)

     Ранее было отмечено, что коэффициенты α P и γ являются
функциями приведённой напряжённости поля E P . Учитывая это, ус-
ловие перехода разряда из несамостоятельного в самостоятельный
можно записать:
                f1 (E P )[exp(Pdf 2 (E P )) − 1] = 1 .    (2.15)

     Напомним, что речь идёт о моменте, предшествующем разви-
тию разряда, когда объёмный заряд электронов и ионов ещё невелик и
существенного влияния на распределение потенциала между электро-
дами не оказывает. При этом распределение потенциала можно счи-


                                 71

Страницы