Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 70 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

70
−=
E
BP
A
P
exp
α
, (2.14)
где
P
- давление газа,
ea
IA
λ
=
и
eiz
B
λ
ε
=
- постоянные, зависящие
от рода газа,
e
λ
- длина свободного пробега электрона,
iz
ε
- потенциал
ионизации частиц газа. Для практических расчетов обычно пользуют-
ся коэффициентами А и В, найденными экспериментальным путём
(рис. 2.1.2).
Проанализируем подробнее
выражение (2.5). Обычно
γ
- ве-
личина малая (рис. 2.1.3), произ-
ведение
(
)
(
)
1exp
−
d
α
γ
меньше
единицы и соотношение (2.5)
фактически трансформируется в
(2.3). При этом уменьшение тока
эмиссии катода под действием
посторонних факторов будет
приводить к уменьшению анод-
ного тока. При 0
=
k
I окажется
равным нулю и ток на анод, что
является подтверждением неса-
мостоятельности разряда. Если
при неизменном
k
I увеличивать
анодный ток за счёт увеличения
(
)
d
α
exp и уменьшения
(
)
(
)
1exp
−
d
α
γ
путём подбора со-
ответствующих условий, это бу-
дет объясняться увеличением ин-
тенсивности электронных лавин, развивающихся между электродами.
Однако, как бы ни была мала величина
(
)
(
)
1exp
−
d
α
γ
, анодный ток бу-
дет иметь место только при наличии эмиссионного тока с катода под
действием внешних факторов, т.е. разряд будет оставаться несамо-
стоятельным. Предположим, что в результате увеличения
(
)
d
α
exp
член знаменателя
(
)
(
)
1exp
−
d
α
γ
станет равным единице, а весь знаме-
натель равным нулю. Формально это означает, что при 0
=
k
I в правой
части уравнения имеется неопределённость. При этих условиях анод-
ный ток будет иметь место даже при отсутствии эмиссии электронов
из катода под действием внешних факторов. Электронные лавины
Рис. 2.1.2. Зависимость коэффи-
циента объемной ионизации от
приведенной напряженности по-
ля
α
/p (ion pairs/Torr-cm
E/p (V/Torr-cm) 
                              α         BP 
                                = A exp −   ,                          (2.14)
                              P         E 

       где P - давление газа, A = I a λe и B = ε iz λe - постоянные, зависящие
       от рода газа, λe - длина свободного пробега электрона, ε iz - потенциал
       ионизации частиц газа. Для практических расчетов обычно пользуют-
       ся коэффициентами А и В, найденными экспериментальным путём
       (рис. 2.1.2).
                                                    Проанализируем подробнее
                                             выражение (2.5). Обычно γ - ве-
                                             личина малая (рис. 2.1.3), произ-
                                             ведение γ (exp(αd ) − 1) меньше
                                             единицы и соотношение (2.5)
                                             фактически трансформируется в
α/p (ion pairs/Torr-cm




                                             (2.3). При этом уменьшение тока
                                             эмиссии катода под действием
                                             посторонних факторов будет
                                             приводить к уменьшению анод-
                                             ного тока. При I k = 0 окажется
                                             равным нулю и ток на анод, что
                                             является подтверждением неса-
                                             мостоятельности разряда. Если
                                             при неизменном I k увеличивать
                     E/p (V/Torr-cm)         анодный ток за счёт увеличения
       Рис. 2.1.2. Зависимость коэффи- exp(αd )               и     уменьшения
       циента объемной ионизации от
                                             γ (exp(αd ) − 1) путём подбора со-
       приведенной напряженности по-
       ля                                    ответствующих условий, это бу-
                                             дет объясняться увеличением ин-
       тенсивности электронных лавин, развивающихся между электродами.
       Однако, как бы ни была мала величина γ (exp(αd ) − 1) , анодный ток бу-
       дет иметь место только при наличии эмиссионного тока с катода под
       действием внешних факторов, т.е. разряд будет оставаться несамо-
       стоятельным. Предположим, что в результате увеличения exp(αd )
       член знаменателя γ (exp(αd ) − 1) станет равным единице, а весь знаме-
       натель равным нулю. Формально это означает, что при I k = 0 в правой
       части уравнения имеется неопределённость. При этих условиях анод-
       ный ток будет иметь место даже при отсутствии эмиссии электронов
       из катода под действием внешних факторов. Электронные лавины

                                         70

Страницы