Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 82 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

82
ционные разряды (рис. 2.3.2,а), где разряд возбуждается путем подачи
переменного тока в соленоид, внутри которого расположен реактор из
диэлектрического материала. Силовые линии электрического поля
представляют собой окружности концентрические с витками соле-
ноида, а магнитное поле направлено вдоль оси соленоида. Такой раз-
ряд называют разрядом Н-типа. Ко второй группе относятся разряды,
в которых переменное напряжение подается на электроды, которые
могут находиться в непосредственном контакте с плазмой (рис.
2.3.2,с), либо быть изолированными от нее (рис. 2.3.2,б). Такая систе-
ма возбуждения по отношению к переменному напряжению анало-
гична конденсатору. Поэтому такие типы разрядов называются емко-
стными или разрядами Е-типа.
а)
б)
в)
Рис. 2.3.2 Способы возбуждения ВЧ
разряда: а-емкостное возбуждение с
внешними электродами; б - индук-
ционное возбуждение с внешними
электродами; в) - емкостное возбу-
ждение с внутренними электрода-
ми. Обозначения: 1 - корпус реак-
тора, 2 – электроды, 3 – плазма
В СВЧ диапазоне (
>
ω
10
9
Гц), учитывая специфику распростра-
нения электромагнитных волн, для возбуждения разрядов использу-
ются те или иные виды колебательных контуров, которые называются
резонаторами. Резонатором может быть отрезок прямоугольного вол-
новода, перпендикулярно широким стенкам которого вставлен реак-
тор из материала, имеющего низкие диэлектрические потери на час-
тоте возбуждения (рис. 2.3.3,а), бывают также резонаторы цилиндри-
ческой формы (рис. 2.3.3,б). По-существу, цилиндрическим резонато-
ром может быть и сам реактор, как это изображено на рис. 2.3.3,в.
1
2
∼
3
2
3
1
3
1
2
ционные разряды (рис. 2.3.2,а), где разряд возбуждается путем подачи
переменного тока в соленоид, внутри которого расположен реактор из
диэлектрического материала. Силовые линии электрического поля
представляют собой окружности концентрические с витками соле-
ноида, а магнитное поле направлено вдоль оси соленоида. Такой раз-
ряд называют разрядом Н-типа. Ко второй группе относятся разряды,
в которых переменное напряжение подается на электроды, которые
могут находиться в непосредственном контакте с плазмой (рис.
2.3.2,с), либо быть изолированными от нее (рис. 2.3.2,б). Такая систе-
ма возбуждения по отношению к переменному напряжению анало-
гична конденсатору. Поэтому такие типы разрядов называются емко-
стными или разрядами Е-типа.

                 2                         1       2
         1




             3                             3
                 ∼                                 ∼

а)                                б)

             1        ∼
                                  Рис. 2.3.2 Способы возбуждения ВЧ
                                  разряда: а-емкостное возбуждение с
                                  внешними электродами; б - индук-
     2                            ционное возбуждение с внешними
                                  электродами; в) - емкостное возбу-
                                  ждение с внутренними электрода-
             3                    ми. Обозначения: 1 - корпус реак-
в)                                тора, 2 – электроды, 3 – плазма

     В СВЧ диапазоне ( ω > 109 Гц), учитывая специфику распростра-
нения электромагнитных волн, для возбуждения разрядов использу-
ются те или иные виды колебательных контуров, которые называются
резонаторами. Резонатором может быть отрезок прямоугольного вол-
новода, перпендикулярно широким стенкам которого вставлен реак-
тор из материала, имеющего низкие диэлектрические потери на час-
тоте возбуждения (рис. 2.3.3,а), бывают также резонаторы цилиндри-
ческой формы (рис. 2.3.3,б). По-существу, цилиндрическим резонато-
ром может быть и сам реактор, как это изображено на рис. 2.3.3,в.


                                 82

Страницы