Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 83 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

83
Здесь энергия в реактор поступает из прямоугольного волновода, от-
деленного от реактора вакуумноплотным окном из специального ди-
электрика. Для обеспечения поддержания разряда при низких давле-
ниях резонатор помещается в магнитное поле, создаваемое соленои-
дом.
а) 1 – корпус реактора, 2 – волновод, 3 – плазма.
б) 1 – корпус реактора, 2 – резона-
тор, 3 – ввод СВЧ энергии (антен-
на).
в) 1 – корпус реактора, 2 – волно-
вод, 3 – плазма, 4 - соленоид.
Рис. 2.3.3. Способы возбуждения СВЧ разряда
Для сравнения свойств разрядов на разных частотах важным яв-
ляется понятие эффективного поля. Для понимания этого параметра
рассмотрим простую модель, полагая, что имеем дело с совокупно-
стью электронов, имеющих одинаковые скорости
)
(
t
V
. Запишем урав-
нение движения электронов в периодическом поле
t
E
E
ω
sin
0
=
, где
ω
- круговая частота. Будем полагать, что на электрон действует непре-
рывная во времени сила трения, которая меняет импульс электрона.
Очевидно, что эта сила равна среднему изменению импульса электро-
на в единицу времени, то есть
Vm
e
∆
, где
ν
/
1
=
- среднее время
СВЧ энергия
3
1
2
4
1
2
3
СВЧ
энергия
1
1
2
2
3
Здесь энергия в реактор поступает из прямоугольного волновода, от-
деленного от реактора вакуумноплотным окном из специального ди-
электрика. Для обеспечения поддержания разряда при низких давле-
ниях резонатор помещается в магнитное поле, создаваемое соленои-
дом.
                 1               2        1
                                                              СВЧ
                                                             энергия




                     3
                                              2



а) 1 – корпус реактора, 2 – волновод, 3 – плазма.
                                                          СВЧ энергия
          1              2
                                                  4                     2

                             3




                                                      1           3

б) 1 – корпус реактора, 2 – резона- в) 1 – корпус реактора, 2 – волно-
тор, 3 – ввод СВЧ энергии (антен- вод, 3 – плазма, 4 - соленоид.
на).
Рис. 2.3.3. Способы возбуждения СВЧ разряда

      Для сравнения свойств разрядов на разных частотах важным яв-
ляется понятие эффективного поля. Для понимания этого параметра
рассмотрим простую модель, полагая, что имеем дело с совокупно-
стью электронов, имеющих одинаковые скорости V (t ) . Запишем урав-
нение движения электронов в периодическом поле E = E 0 sin ωt , где ω
- круговая частота. Будем полагать, что на электрон действует непре-
рывная во времени сила трения, которая меняет импульс электрона.
Очевидно, что эта сила равна среднему изменению импульса электро-
на в единицу времени, то есть me ∆V τ , где τ = 1 /ν - среднее время


                                     83

Страницы