Составители:
10
Недостатком методов измерения удельного сопротивления на посто-
янном токе является влияние термоЭДС и различных электрических
наводок. Влияние наводок состоит в том, что за счет частичного вып-
рямления тока наводок зондом, находящимся под обратным смещени-
ем (при контакте с полупроводниковой пленкой), могут возникать лож-
ные сигналы. Проведение измерений при двух направлениях тока
уменьшает ошибки, обусловленные наводками, но устранить их полнос-
тью можно только путем тщательного экранирования. Поэтому для по-
лупроводниковых материалов используют четырехзондовый метод из-
мерения на переменном токе с постоянным смещением для создания
невыпрямляющих (омических) контактов. Рабочая частота источни-
ка переменного тока выбирается около 1000 Гц. Сигнал, снимаемый с
зондов 2 и 3, подается на узкополосный (селективный) усилитель и
вольтметр переменного тока. Схемы на переменном токе отличаются
широким диапазоном измеряемых величин удельных сопротивлений:
от 10
–2
до 10
3
Ом·см.
2. ОПИСАНИЕ ЛАБОРАТОРНОЙ УСТАНОВКИ
Лабораторная установка включает в себя установку "Зонд-1" и "Из-
меритель удельного сопротивления цифровой 13МП-0,001". Конструк-
ция "Зонд-1" содержит систему зондовых головок, закрепленных на коль-
цевом подъемнике кронштейна, и предметный столик, на котором
закрепляется контролируемая подложка (в производственном варианте
подложка закрепляется на столике с помощью вакуумного присоса).
Конструкция зондовой установки обеспечивает вращение предметного
столика относительно вертикальной оси (на 90°), перемещение его на
установленный шаг по осям X и Y с помощью микрометрических вин-
тов (с точностью 0,01 мм), а также подъем столика с помощью элект-
ромагнита (тумблер "столик" в положении "вверх") для обеспечения кон-
такта зондов с подложкой. Усилие нажатия каждого контакта на пластину
должно быть 25 ± 5 г. Перемещение столика на очередной шаг допусти-
мо лишь при опущенном столике, когда зонды не касаются поверхности
пластины. Перемещение поднятого столика может вызвать поломку зон-
дов и порчу поверхности пластины.
В измерителе используется четырехзондовый метод измерения
удельного сопротивления. Контактное устройство обеспечивает одно-
временное контактирование четырех зондов с измеряемой пластиной.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 8
- 9
- 10
- 11
- 12
- …
- следующая ›
- последняя »
