Составители:
9
Часто зонды монтируют в специальной головке, где расстояние между
ними строго фиксировано. Для изготовления зондов используют вольф-
рамовую проволоку или проволоку из твердых сплавов (ВК-10, ВК-15,
ВК-20). Если диаметр контакта составляет 0,5 мкм и меньше, то погреш-
ность измерения, обусловленная конечными размерами контакта, состав-
ляет менее 2%. Надежный самоустанавливащийся контакт каждого зон-
да с поверхностью образца обеспечивается за счет пружин. Величина
давления на контакт не оказывает существенного влияния на результат
измерений, однако большое давление может повредить поверхность об-
разца или зонд.
Еще более высокую точность измерения можно обеспечить, если
разность потенциалов на зондах 2 и 3 измерять в отсутствие тока
через образец. В этом случае измерение проводят компенсацион-
ным методом или вольтметром с высоким входным сопротивлени-
ем. Применение милливольтметра с входным сопротивлением поряд-
ка до 10
8
Ом дает возможность измерять удельное сопротивление
до 3000 Ом·см. Если использовать электрометры с входным сопро-
тивлением порядка 10
14
–10
16
Ом, то можно измерять удельное со-
противление практически любых материалов. Некоторое повышение
чувствительности по напряжению можно получить, используя четы-
рехзондовую головку с неэквидистантными (неравноудаленннми) зон-
дами, для которой s
1
= s
3
= s < s
2
.
Если s
2
= ms, то
()
0
π
.
ln +1
U
R
mI
=
(1.9)
Например, при m = 3 чувствительность метода вдвое больше, чем в
случае m = 1.
На контакте материала (металла или полупроводника) с металли-
ческим электродом при протекании электрического тока могут возни-
кать явления, вносящие существенные погрешности в результаты из-
мерения: нагрев образца электрическим током, термоЭДС, высокое
переходное сопротивление контакта (например, выпрямляющий кон-
такт металла с полупроводником, включенный в обратном направле-
нии), инжекция неосновных носителей заряда контактом и т. п. Воз-
можность присутствия указанных явлений необходимо учитывать при
измерениях.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 7
- 8
- 9
- 10
- 11
- …
- следующая ›
- последняя »
