Составители:
7
Сущность четырехзондового метода состоит в следующем [4]. На
поверхности образца размещают четыре металлических электрода в
виде металлических иголок – зондов с малой площадью соприкоснове-
ния. Через два внешних зонда I и 4 пропускают электрический ток I и
измеряют напряжение U на участке между внутренними зондами 2 и 3.
Аналитическое выражение для удельного сопротивления тонких слоев
определяется на основе решения двухмерного уравнения Лапласа [4].
При условии бесконечно тонкого слоя, толщина которого d много мень-
ше расстояния между зондами s, т. е. d<<s, выражение для удельного
поверхностного сопротивления слоя имеет вид
0
π
4,53 ,
ln2
UU
R
II
==
(1.6)
где R
0
– удельное поверхностное сопротивление пленки, Ом (так как
R = R
0
при К
ф
= 1, т. е. резисторе квадратной формы, чтобы подчерк-
нуть это, часто обозначение записывают: Ом/квадрат или Ом/); U –
напряжение между зондами 2 и 3, В; I – ток, А.
При более точном определения удельного поверхностного сопро-
тивления выражение для R
0
нужно уточнить с помощью функции
поправок f(d/s), зависящей от толщины слоя d и расстояния между
зондами s:
S
1
Цифровой
вольтметр
Измеритель напряжения между зондами 2 и 3
У
Стабилизатор
тока
Зонды 1 и 4
Зондовое устройство
12
3
4
d
S
2
S
3
Рис. 1.2
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 5
- 6
- 7
- 8
- 9
- …
- следующая ›
- последняя »
