Составители:
6
распределения f(R
0
), математическое ожидание m(R
0
), среднеквадра-
тичное отклонение σ(R
0
). Величина m(R
0
) позволяет производить соот-
ветствующую корректировку технологического процесса с целью обес-
печения условия
m(R
0
) = R
0расч
. (1.5)
Часто ограниченные возможности технологического процесса, с точ-
ки зрения воспроизводимости удельного сопротивления пленки, можно
скомпенсировать применением селективного метода, заключающегося
в сортировке подложек по значению величины R
0
на некоторое число
групп и определении соответствующих размеров резисторов для каж-
дой из групп подложек. Рассортировка подложек на группы производит-
ся по измерениям R
0
в центре подложек. Для каждой группы подложек
изготавливается свой фотошаблон. Увеличение числа фотошаблонов
экономически оправдывается повышением процента выхода годных
микросхем.
Величина σ(R
0
) характеризует градиентную погрешность удельно-
го поверхностного сопротивления в пределах подложки и накладывает
ограничения на точность номинальных значений проектируемых рези-
сторов.
Измерение удельного поверхностного сопротивления
резистивной пленки
Методы измерения удельного сопротивления материалов основаны
на измерении падения напряжения на некотором участке образца, через
который пропускается электрический ток. Наиболее простой метод –
измерение сопротивления образца правильной формы с постоянным по-
перечным сечением. Однако ему присущи следующие недостатки: зна-
чительная трудоемкость приготовления образца, невозможность конт-
роля сопротивления материала в любой его точке, усреднение
сопротивления по всему объему, что дает истинный результат измере-
ния только для однородного образца.
Этих недостатков можно избежать, если использовать зондовые
методы измерения. Например, четырехзондовый метод позволяет
производить измерение удельного сопротивления образцов самой раз-
нообразной формы и размеров при наличии плоской поверхности, ли-
нейные размеры которой превосходят линейные размеры системы
зондов (рис. 1.2).
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 4
- 5
- 6
- 7
- 8
- …
- следующая ›
- последняя »
