Составители:
8
0
4,53 .
Ud
Rf
Is
⎛⎞
=
⎜⎟
⎝⎠
(1.7)
Для малых значений отношений d/s функция f(d/s) близка к единице.
Значения функции f(d/s) приведены в табл. 1.1.
Выражение (1.7) пригодно для определения удельного поверхност-
ного сопротивления тонкой пленки бесконечной протяженности.
Если образец имеет изолирующую плоскую границу, а зонды распо-
ложены параллельно или перпендикулярно линии границы на расстоянии
h, удельное поверхностное сопротивление определяется
0
4,53 ,
Uh
Rf
Is
⎛⎞
=
⎜⎟
⎝⎠
(1.8)
где f(h/s) – функция поправок, учитывающая расстояние до зондов
от края подложки. Значения функции поправок f(h/s) приведены в
табл. 1.2.
Анализ функций поправок показывает, что во всех случаях поправка
пренебрежимо мала, если d/s < 0,4 и h/s > 3.
Измерения проводят при токе порядка 0,1–1,0 мА. Желательно, что-
бы источник тока имел высокое выходное сопротивление, т. е. являлся
генератором тока. Расстояние между зондами выбирают 0,1–1,0 мм.
d/s 4,05,0526,0338,00,152,134,10,2
f(d/s)5999,0799,00089,00069,04129,00948,08397,06336,0
Таблица 1.1
h/s
f(h/ )s
оньлелларапыдноЗонрялукиднепрепыдноЗ
0005,0096,0
2,0335,0197,0
5,0856,0288,0
0,1248,0749,0
0,2569,0299,0
0,5799,0699,0
Таблица 1.2
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 6
- 7
- 8
- 9
- 10
- …
- следующая ›
- последняя »
