Составители:
19
5. Расчет теоретических значений удельного сопротивления плен-
ки
выхi
q
, полученных по математической модели для i-го режима
напыления
вых 0
1
.
l
ijij
j
qAAq
=
=+
∑
(2.11)
6. Проверка адекватности модели.
Для оценки адэкватности полученной модели необходимо сравнить
экспериментально полученные и рассчитанные по модели значения
удельного сопротивления пленки. Проверка адэкватности модели про-
изводится также по критерию Фишера, расчетное значение критерия
определяется по формуле
()
2
вых вых 2
1
2
1
1
,
N
ii
i
P
N
i
i
qq fN
F
Sf
=
=
′′
∑
−
′′
=
′′
∑
(2.12)
где
выхi
q
– значение удельного сопротивления пленки, вычисленное на
основании полученной модели для i-го режима напыления;
1
f
′′
– число
степеней свободы при определении коэффициентов модели, равное N – l =
= 8 – 3 = 5; f
2
" – число степеней свободы при определении дисперсии
эксперимента, равное N – 1 = 4 – 1 = 3. Для 5%-го уровня значимости и
f
1
"= 5, f
2
" = 3 табличное значение критерия равно F"
табл
= 5,4. Расчет-
ное значение критерия сравнивается с табличным; если F "
расч
< < F"
табл
,
то с доверительной вероятностью 95% полученная модель считается адек-
ватной исследуемому процессу, а исходная предпосылка о возможности
линейной интерпретации процесса – правомерной.
2. ОПИСАНИЕ ЛАБОРАТОРНОЙ УСТАНОВКИ
Лабораторная работа может выполняться:
на физическом макете, имитирующем процесс термовакуумного на-
пыления и стабилизации, на выходе которого выдается значение удель-
ного сопротивления резистивной пленки для выбранного режима, изме-
ряемое цифровым вольтметром, работающим в режиме измерения
сопротивления (вариант 1);
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 17
- 18
- 19
- 20
- 21
- …
- следующая ›
- последняя »
