Физические основы полупроводниковой микро- и оптоэлектроники. - 4 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТГУ | Томск

Рубрика: 

6
Литография
2 1 1
7
Поверхность
2 2
8
Интегральные схемы
6 4
2
9
Функциональная мик-
роэлектроника
2 2
10
Оптоэлектроника (фо-
тоника)
2 2
11
Фотоприемники
7 5
2
12
Излучатели
6 4
2
13
Оптические среды
2 2
14
Элементы интегральной
оптоэлектроники
3 3
ИТОГО
73 48 12
13
IV. Форма итогового контроля
Экзамен
V. Учебно-методическое обеспечение курса
1. Рекомендуемая литература (основная):
1. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. А.И. Кур-
носов, В.В.Юдин. И. "ВШ", 1986, 386 с.
2. Технология полупроводниковых приборов. И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров, И. "ВШ", М.
1984, 288 с.
3. Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность. И. Е. Ефимов
, И.
Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. И. "ВШ", М. 1986, 464 с.
4. Микроэлектроника: проектирование, виды микросхем, функциональная микроэлектрони-
ка. И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. И. "ВШ", М. 1987, 416 с.
5. Основы микроэлектроники. Н.А. Аваев, Ю.С. Наумов, В.Т. Фролкин. И. "Радио и связь",
1991, 288 с.
6. Физические
основы квантовой электроники и оптоэлектроники. А.В. Пихтин.- И "ВШ",
М: 1983, 304 с.
7. Оптоэлектроника. Носов Ю.Р. И. "Радио и связь", 1989, 315 с.
8. Физика полупроводниковых приборов. И. "Сов. Радио", 1980, 294 с.
9. Физика полупроводниковых приборов. С. Зи. И. "Мир", М., 1984, 453 с.
10. Полупроводниковая оптоэлектроника. Т. Мосс, Г. Баррел, В. Эллис. И. "
Мир", М., 1976,
431 с.
2. Рекомендуемая литература (дополнительная):
1. Травление полупроводников. б. статей. Пер. с англ. С.Н. Горина. И.Мир, М., 1965, 382 с.
2. Металлургия и технология полупроводниковых материалов. Под ред. Б.А. Сахарова. И.
Металлургия, М. 1972, 544 с.
3. Производство полупроводниковых приборов. В.А. Брук, В.В. Гаршенин, А.И. Курносов.
И
. ВШ, М. 1973, 264 с.
4. Оптические материалы для инфракрасной техники. Е.М. Воронкова, Б.Н. Гречушников,
Г.И. Дистлер, И.П. Петров. И. Наука, М. 1965, 335 с.
5. Микроэлектроника (теория, конструирование и производство). И. Советское Радио, М.
1966 453 с. Пер. с агнл. Microelectronics (Theory, Design, and Fabrication). McGraw-Hill
Book Company, Inc. N-Y, Toronto, London.
6. Выявление тонкой структуры кристаллов (Справочник). Ю.П. Пшеничников. И
. "Метал-
лургия", М., 599 с.
7. Основы конструирования микроэлектронной аппаратуры. А.П. Ненашев, Л.А. Коледов.
И. Радио и Связь, М. 1981, 303 с.

Страницы