ВУЗ:
8. Полупроводниковая микроэлектроника. А.И. Курносов, Э.Н. Воронков. Военное И. МО
СССР, М. 1973, 240 с.
9. Физические основы электронной и ионной технологии. И.А. Аброян, А.Н. Андронов,
А.И. Титов. И. В.Ш., М., 1984, 319 с.
Автор:
Брудный Валентин Натанович, д.ф.-м.н., профессор
