ВУЗ:
Составители:
2
УДК 621.382 (076)
ББК
Á
852я73-5
К682
Рекомендовано Редакционно-издательским советом университета
Рецензе нт
Доктор технических наук, профессор ГОУ ВПО ТГТУ
Т.И. Чернышова
Королев, А.П.
К682 Технология изготовления полупроводниковых электронных
схем : лабораторные работы / А.П. Королев, С.Н. Баршутин. –
Тамбов : Изд-во ГОУ ВПО ТГТУ, 2011. – 16 с. – 100 экз.
Приведены лабораторные работы по основным темам в изучении
технологических процессов изготовления полупроводниковых элек-
тронных схем.
Предназначены для студентов, обучающихся по направлению
211000 – «Конструирование и технология электронных средств», оч-
ной формы обучения.
УДК 621.382 (076)
ББК
Á
852я73-5
Государственное образовательное учреждение
высшего профессионального образования
«Тамбовский государственный технический
университет» (ГОУ ВПО ТГТУ), 2011
