Составители:
Рубрика:
81
свободного
пробега
молекулы
с
остаточным
газом
L
СР
определяется
из
кинетической
теории
газов
.
При
давлении
10
-2
Па
она
равна
900
мм
.
Величина
L
СР
должна
быть
много
больше
расстояния
от
испарителя
до
подложек
.
Реально
давление
10
-2
Па
можно
использовать
в
камерах
с
размерами
порядка
(150-200)
мм
.
Для
больших
камер
с
линейными
размерами
(500-700)
мм
это
давление
не
должно
превышать
(3÷5)·10
-3
Па
.
Но
даже
при
этом
давлении
,
значительная
часть
молекул
испаряемых
веществ
рассеивается
и
оседает
на
стенках
и
дне
камеры
.
При
длительной
работе
на
стенках
и
дне
камеры
напыляется
слой
пленкообразующих
веществ
,
который
обладает
повышенным
газоотделением
,
что
приводит
к
увеличению
времени
откачки
камеры
до
требуемого
давления
.
Стенки
и
дно
камеры
необходимо
периодически
подвергать
чистке
.
Для
упрощения
процесса
очистки
хороший
результат
дают
экраны
и
фальш
-
панели
из
нержавеющей
стали
.
Эти
экраны
устанавливаются
вблизи
дна
и
стенок
вакуумной
камеры
.
Они
периодически
очищаются
травлением
в
азотной
кислоте
.
В
свою
очередь
,
эти
экраны
можно
рекомендовать
оборачивать
тонкой
фольгой
из
алюминия
толщиной
(10-30)
мкм
и
удалять
ее
после
нескольких
напылений
.
При
отсутствии
экранов
,
их
можно
также
заменить
более
толстой
фольгой
из
алюминия
.
Реально
все
это
существенно
снижает
необходимость
периодической
чистки
камеры
,
однако
увеличение
площади
поверхности
внутри
камеры
приводит
к
увеличению
газоотделения
,
что
увеличивает
время
достижения
необходимого
вакуума
.
Остаточные
газы
соударяются
с
подложкой
во
время
напыления
пленки
и
остаются
в
ней
.
При
давлении
10
-2
Па
частота
столкновений
остаточных
газов
с
подложкой
соответствует
осаждению
пленкообразующего
вещества
со
скоростью
0,001
нм
/
с
.
Естественно
,
что
этот
процесс
увеличивает
пористость
пленки
и
снижает
ее
механические
характеристики
.
Так
,
при
давлении
1
Па
осаждаемые
пленки
настолько
пористы
,
что
стираются
ватным
тампоном
.
Вакуумные
установки
для
получения
покрытий
термическим
испарением
,
можно
разделить
на
стандартные
,
улучшенные
и
сверхвысоковакуумные
.
Установки
стандартного
типа
имеют
непрогреваемый
(
или
прогреваемый
водой
до
80-90°
С
)
металлический
или
стеклянный
колпак
.
Заданный
вакуум
получают
с
помощью
паромасляного
диффузионного
насоса
,
снабженного
маслоотражателем
и
водяной
и
(
или
)
азотной
ловушками
.
Разборные
соединения
в
установках
выполняются
с
использованием
вакуумной
резины
.
К
такому
типу
установок
,
например
,
относятся
следующие
:
А
-700
Р
(
фирмы
«
Лейбольд
—
Хераус
»,
ФРГ
);
ВА
-550
К
,
ВА
-710 (
фирмы
«
Бальцерс
»,
Лихтенштейн
);
ВУ
-1
А
,
ВУ
-2
М
,
УРМЗ
-279-011 (
СССР
,
Россия
)
и
др
.
Отечественные
высокопроизводительные
установки
типа
УРМЗ
-279,
ВУ
-
1
А
и
ВУ
-2
М
обеспечивает
получение
многослойных
покрытий
различного
назначения
на
деталях
диаметром
свыше
500
мм
методами
резистивного
и
электронно
-
лучевого
испарения
.
Они
состоят
из
ряда
конструктивных
элементов
.
Другие
,
используемые
для
резистивного
напыления
установки
,
принципиально
мало
отличаются
от
них
.
Вакуумная
установка
термического
испарения
подобного
типа
(
рис
. 2.2)
состоит
из
камеры
,
закрытой
от
окружающей
атмосферы
12, рабочей
плиты
18,
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 79
- 80
- 81
- 82
- 83
- …
- следующая ›
- последняя »
