Составители:
Рубрика:
83
Система
откачки
воздуха
состоит
из
форвакуумного
насоса
2
предварительной
откачки
диффузионного
высоковакуумного
насоса
22
,
системы
клапанов
,
ловушек
и
трубопроводов
.
Для
разгерметизации
колпака
по
окончании
процесса
служит
кран
-
натекатель
4.
На
установках
ВУ
-1
А
и
ВУ
-
2
М
(
рис
. 2.3)
предварительный
вакуум
создается
вакуумным
агрегатом
АВР
-50
или
АВР
-60,
в
состав
которого
входят
форвакуумный
механический
насос
и
ротационный
насос
РУТса
.
Напыляемые
подложки
13 и
образец
-
свидетель
11 для
контроля
толщины
пленки
в
процессе
напыления
устанавливают
в
отверстия
приспособления
1
4
. В
установке
находится
оправа
для
свидетелей
,
позволяющая
устанавливать
до
десяти
сменных
свидетеля
.
Для
улучшения
равномерности
толщины
пленки
приспособление
14 вращается
с
частотой
до
100
об
/
мин
на
роликовых
опорах
.
Привод
вращения
приспособления
осуществляется
через
конический
ролик
16 и
бесконтактную
электромагнитную
муфту
19, расположенную
на
рабочей
плите
установки
.
Рис
. 2.3.
Установка
ВУ
-2
М
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 81
- 82
- 83
- 84
- 85
- …
- следующая ›
- последняя »
