Составители:
Рубрика:
85
По
своей
природе
загрязнения
носят
различный
характер
.
Наиболее
часто
встречающимися
загрязнениями
являются
остающиеся
после
изготовления
и
упаковки
волокна
,
отпечатки
пальцев
,
масло
и
частицы
,
осажденные
из
воздуха
.
Характер
загрязнений
определяет
способ
очистки
поверхности
подложки
.
Широкое
распространение
получила
химическая
очистка
деталей
.
При
химической
очистке
растворителями
обрываются
связи
,
как
между
молекулами
самой
примеси
,
так
и
между
молекулами
этой
примеси
и
подложкой
.
В
качестве
реагентов
используют
водные
растворы
кислот
и
щелочей
,
а
также
такие
органические
растворители
,
как
спирты
,
кетоны
и
хлористые
углеводороды
.
Для
повышения
скорости
и
эффективности
удаления
загрязнений
применяется
нагрев
растворителя
или
ультразвуковое
возбуждение
растворителя
.
В
случае
ультразвуковой
чистки
деталь
помещают
в
специальную
ванну
с
реагентом
,
в
котором
при
помощи
излучателя
возбуждаются
колебания
ультразвуковой
частоты
.
В
этом
случае
в
качестве
растворителя
обычно
применяют
смесь
петролейного
эфира
и
ацетона
в
пропорции
1:1,
также
неплохие
результаты
показала
смесь
состава
3
г
синтанола
ДС
-10, 6
г
КОН
на
1
литр
дистиллированной
воды
.
Методы
химической
очистки
подложек
приведены
в
таблице
2.1.
Помимо
химической
очистки
летучие
загрязнения
могут
быть
удалены
прогревом
подложек
перед
напылением
.
Для
качественной
очистки
в
этом
случае
требуются
относительно
высокие
температуры
прогрева
.
Так
,
например
,
в
случае
кремниевых
пластин
для
получения
атомарно
-
чистой
поверхности
подожку
необходимо
нагреть
до
1280º
С
.
Таблица
2.1
Химические
методы
очистки
подложек
Метод очистки:
химическая
обработка
Реагент
Действие реагента
Примечание
петролейный
эфир
(
фракция
кипения
при
40-70°
С
)
Растворяет
минеральные
,
живот
-
ные
и
растительные
жиры
,
воск
,
смолу
растворителями
Этиловый
гид
-
ролизный
спирт
высшей
очистки
(4%
Н
2
0)
Удаляет
следы
«
чистых
»
пальцев
Плохо
растворяет
минеральные
масла
,
животные
жиры
;
из
-
за
медленного
испарения
воды
при
очистке
возможно
возникновение
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 83
- 84
- 85
- 86
- 87
- …
- следующая ›
- последняя »
