Составители:
Рубрика:
86
мазков
и
разводов
Этиловый
осу
-
шенный
спирт
(2 %
Н
2
0)
Удаляет
мазки
и
разводы
растворами
щелочей
КОН
или
Na
ОН
10-15%
Омыляет
жиры
,
снижает
поверхностное
натяжение
растворами
кислот
Хромовая
,
пла
-
виковая
,
азотная
кислоты
,
смесь
хромовой
и
серной
кислот
Взаимодействует
с
загрязнениями
,
превращает
их
в
растворимые
со
-
единения
Использование
имеет
ограничения
из
-
за
недостаточной
химической
стойко
сти
материала
подложки
Непосредственно
перед
осаждением
слоя
используется
очистка
тлеющим
разрядом
.
Тлеющий
разряд
обеспечивает
нагрев
и
десорбцию
примесей
,
расщепляет
органические
молекулы
с
образованием
летучих
соединений
,
улучшает
прочность
сцепления
напыляемых
слоев
и
сокращает
время
откачки
рабочего
объема
вакуумной
установки
.
В
дополнение
к
приведенным
методам
очистки
подложек
можно
отметить
некоторые
специальные
методы
.
К
таким
,
например
,
относится
способ
скалывания
монокристаллов
в
вакууме
.
Этот
метод
применим
только
для
монокристаллических
материалов
,
и
используется
при
изучении
процессов
зародышеобразования
и
роста
,
когда
точная
информация
о
состоянии
поверхности
оказывает
определяющее
значение
.
Для
изготовления
оптических
пленок
термическим
испарением
в
вакууме
необходимо
наличие
испарителя
,
который
бы
содержал
испаряемое
вещество
и
поддерживал
его
при
температуре
,
достаточной
для
испарения
с
необходимой
скоростью
,
а
также
обеспечивал
подвод
необходимой
энергии
для
нагрева
.
В
зависимости
от
способа
подвода
энергии
различают
резистивные
и
электронно
-
лучевые
испарители
.
Современные
резистивные
испарители
можно
классифицировать
по
различным
свойствам
,
например
,
по
диаграмме
направленности
и
максимальной
интенсивности
потока
молекул
испаряемого
вещества
.
Также
резистивные
испарители
бывают
прямого
или
косвенного
нагрева
.
При
резистивном
испарении
нагрев
вещества
происходит
джоулевым
теплом
.
Электрический
ток
пропускается
либо
непосредственно
через
испаритель
,
либо
тигель
нагревается
внешним
накальным
нагревателем
,
выполненным
из
тугоплавкой
фольги
или
проволоки
.
Наибольшее
практическое
распространение
получили
поверхностные
,
лодочные
и
тигельные
,
испарители
прямого
нагрева
.
В
тиглях
такого
типа
вещество
помещают
в
лодочку
,
которая
нагревается
проходящим
током
.
Такие
испарители
отличаются
дешевизной
,
простотой
изготовления
и
удобством
эксплуатации
.
Остановимся
на
наиболее
распространенных
поверхностных
испарителях
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 84
- 85
- 86
- 87
- 88
- …
- следующая ›
- последняя »
