Составители:
Рубрика:
87
Поверхностные
испарители
изготовляются
в
виде
лент
,
лодочек
(
рис
. 2.5
а
,
г
),
а
также
проволочек
из
металлов
с
высокой
температурой
плавления
и
низким
давлением
паров
(
рис
. 2.5
ж
-
и
).
Лодочки
применяются
для
испарения
широкого
класса
материалов
:
сульфидов
и
фторидов
металлов
,
элементарных
металлов
и
других
веществ
.
Для
испарения
материалов
,
характеризующихся
выбросом
вещества
,
применяются
лодочки
,
закрытые
экранами
с
отверстиями
,
расположенными
в
шахматном
порядке
(
рис
. 2.5
в
)
. Для
испарения
диэлектриков
и
металлов
в
больших
количествах
рекомендуется
лодочка
,
изображенная
на
рис
. 2.5
г
.
С
изменением
конструкции
лодочек
(
рис
. 2.5
д
,
е
)
обеспечивается
узкая
направленность
потока
пара
.
Выбор
конструкции
испарителя
зависит
от
того
,
в
каком
состоянии
находится
испаряемый
материал
(
гранулы
,
слитки
,
порошок
,
проволока
),
а
также
от
таких
особенностей
испарения
вещества
,
как
испарение
из
жидкой
фазы
или
сублимация
,
смачиваемость
испарителя
,
химическая
активность
к
материалу
испарителя
и
т
.
д
.
При
испарении
веществ
сложного
состава
и
сплавов
нередко
один
из
компонентов
является
более
летучим
,
что
приводит
к
нарушению
стехиометрии
осаждаемого
слоя
.
Для
предотвращения
этого
применяют
метод
взрывного
испарения
.
Порошкообразное
вещество
из
вибробункера
(
рис
. 2.5
б
)
малыми
дозами
поступает
на
разогретый
испаритель
и
моментально
испаряется
с
последующей
конденсацией
на
приемной
поверхности
.
Режим
испарения
,
размер
фракции
,
скорость
подачи
вещества
и
температура
испарителя
для
получения
пленок
стехиометрического
состава
определяют
эмпирически
.
Рис
. 2.5.
Типы
поверхностных
испарителей
прямого
нагрева
В
общем
случае
эмиссионная
характеристика
испарителя
описывается
функцией
вида
)(cos
2
1
)(
θ
π
θ
q
q
f
+
=
,
где
θ
–
угол
между
нормалью
к
площадке
,
на
которую
происходит
осаждение
слоя
,
и
направлением
«
площадка
-
испаритель
»,
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 85
- 86
- 87
- 88
- 89
- …
- следующая ›
- последняя »
