Составители:
Рубрика:
88
q
-
положительное
число
,
характеризующее
направленность
диаграммы
испарителя
.
Точечному
(
изотропному
)
испарителю
соответствует
q
= 0,
при
q
= 1
испаритель
является
поверхностным
.
У
поверхностных
испарителей
пространственное
распределение
молекул
подчиняется
закону
Кнудсена
,
который
является
газокинетической
аналогией
закона
Ламберта
для
излучения
.
По
закону
Кнудсена
интенсивность
потока
молекул
(
атомов
)
с
поверхности
испарителя
пропорциональна
косинусу
угла
между
направлением
излучения
и
нормалью
к
поверхности
.
Эмиссионная
характеристика
испарителя
зависит
от
его
конструкции
и
состояния
испаряемого
материала
.
Обычно
индикатрису
испарителя
находят
экспериментально
для
каждого
типа
испарителя
.
Для
этого
проводят
напыление
на
тестовый
образец
,
форма
которого
идентична
форме
рабочих
подложек
.
Далее
тем
или
иным
методом
исследуют
распределение
толщины
слоя
по
поверхности
тестового
образца
.
Наиболее
удобно
в
этом
случае
определять
толщину
слоя
в
различных
точках
подложки
по
спектрофотометрическим
измерениям
.
Для
этого
делают
тест
-
напыление
узкополосного
интерференционного
фильтра
типа
интерферометра
Фабри
–
Перо
с
резонансным
слоем
из
материала
,
индикатрису
испарения
которого
хотят
определить
.
По
положению
максимума
пропускания
фильтра
определяют
распределение
толщины
резонансного
слоя
по
поверхности
подложки
.
Далее
по
известному
набору
геометрических
параметров
взаимного
расположения
подложки
и
испарителя
,
а
также
по
применяемой
схеме
вращения
подложек
производят
расчет
эмиссионной
характеристики
испарителя
.
В
п
. 2.3
этого
раздела
приводятся
вывод
и
анализ
выражений
для
определения
толщины
слоя
на
вращающейся
подложке
.
Одним
из
недостатков
испарителей
в
виде
открытых
лодочек
является
нагрев
испаряемого
вещества
снизу
,
следствием
чего
нередко
бывает
разбрызгивание
вещества
из
лодочки
.
Еще
одно
неудобство
поверхностных
испарителей
заключается
в
том
,
что
по
мере
испарения
материала
изменяется
индикатриса
направленности
.
Естественно
,
это
приводит
к
искажению
спектров
деталей
на
разных
участках
.
В
меньшей
степени
этот
недостаток
сказывается
при
испарении
из
расплава
.
Для
предотвращения
разбрызгивания
вещества
и
стабилизации
индикатрисы
испарения
некоторые
исследователи
предлагали
закрывать
поверхность
тигля
частично
прозрачной
сеткой
.
Так
,
например
,
автором
данного
учебника
был
предложен
вариант
лодочного
испарителя
,
свободный
от
большинства
перечисленных
выше
недостатков
.
Идея
заключалась
в
том
,
что
разогрев
вещества
происходит
не
снизу
,
со
дна
испарителя
,
а
сверху
.
На
поверхность
тигля
накладывается
дополнительная
сетка
,
выполненная
из
фольги
,
толщина
которой
больше
толщины
фольги
,
из
которой
выполнен
испаритель
.
Это
приводит
к
перегреву
верхней
части
тигля
.
Величина
перегрева
контролируется
толщиной
фольги
для
дополнительной
сетки
.
Реально
использовался
перегрев
в
(100-300)º
С
.
В
этом
случае
испарение
вещества
идет
из
замкнутой
камеры
между
веществом
и
верхней
сеткой
,
что
обеспечивает
постоянство
индикатрисы
излучения
и
отсутствия
брызг
из
тигля
.
Наконец
,
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 86
- 87
- 88
- 89
- 90
- …
- следующая ›
- последняя »
