Составители:
Рубрика:
90
Рис
. 2.6.
Испарители
с
косвенным
нагревом
Широкое
практическое
распространение
получили
графитовые
тигли
.
Для
изготовления
испарителей
применяется
пиролитический
графит
,
более
твердый
по
сравнению
с
остальными
марками
графита
.
Из
графитовых
тиглей
испаряют
металлы
,
германий
,
кремний
и
другие
полупроводники
и
полупроводниковые
соединения
.
Помимо
указанных
материалов
,
из
которых
изготавливаются
тигли
,
можно
также
отметить
стеклоуглерод
,
нитрид
бора
и
диборид
титана
.
Стеклоуглерод
(
стеклографит
)
имеет
блестящую
поверхность
и
относительно
низкую
плотность
(
≈
30%),
хорошо
подвергается
механической
обработке
и
достаточно
долговечен
.
В
нашей
стране
выпускается
стеклоуглерод
марок
СУ
-2000
и
СУ
-
2500 (
номер
в
обозначении
марки
указывает
на
предельную
рабочую
температуру
).
Из
стеклографитовых
тиглей
рекомендуется
испарять
соединения
фторидов
,
сульфидов
,
теллуридов
,
а
также
соединения
A
III
B
V
.
Нитрид
бора
(BN) -
диэлектрический
материал
белого
цвета
,
легко
обрабатывается
механически
.
Применяется
в
качестве
материала
испарителей
для
получения
пленок
веществ
с
невысокой
температурой
испарения
.
Максимальная
рабочая
температура
тиглей
из
BN – 1800º
С
.
Подобно
графиту
и
нитриду
бора
,
диборид
титана
TiB
2
удобен
для
обработки
механическим
инструментом
.
По
сравнению
с
нитридом
бора
, TiB
2
является
более
твердым
и
плавится
при
температуре
2940º
С
.
Тигли
из
диборида
титана
применяются
для
испарения
алюминия
.
Для
испарения
тугоплавких
металлов
,
окислов
,
диэлектриков
и
других
веществ
широко
применяются
электронно
-
лучевые
испарители
.
Для
нагрева
испаряемого
материала
в
электронно
-
лучевом
испарителе
используется
энергия
сфокусированного
пучка
ускоренных
электронов
(
рис
. 2.7).
Типовой
электронно
-
лучевой
испаритель
состоит
из
трех
основных
узлов
:
источника
электронов
,
системы
отклонения
,
поворота
и
фокусировки
(
электромагнитной
и
электростатической
)
электронного
пучка
;
водоохлаждаемого
тигля
,
в
котором
помещается
испаряемый
материал
.
Источник
электронов
–
электронная
пушка
-
представляет
собой
диодную
систему
,
содержащую
катод
1
,
закрепленный
в
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 88
- 89
- 90
- 91
- 92
- …
- следующая ›
- последняя »
