Составители:
Рубрика:
89
толщина
слоя
остается
постоянной
при
постоянстве
тока
,
протекающего
через
тигель
.
Материалами
для
проволочных
и
ленточных
испарителей
являются
тугоплавкие
металлы
с
высокими
температурами
плавления
и
низким
давлением
паров
.
Наиболее
широко
применяются
вольфрам
,
молибден
и
тантал
.
Температуры
плавления
для
этих
металлов
3380º
С
, 2610º
С
и
3000º
С
соответственно
.
Тигельные
испарители
(
тигли
)
применяются
в
том
случае
,
когда
для
нанесения
слоев
требуются
большие
количества
материала
.
В
качестве
материала
тигля
выбирается
такой
,
чтобы
собственное
давление
паров
тигля
во
время
работы
было
пренебрежимо
мало
по
сравнению
с
давлением
испаряемого
вещества
.
Часто
это
достигается
путем
дополнительного
охлаждения
тигля
,
который
выполняется
из
материала
с
высокой
теплопроводностью
:
меди
,
вольфрама
,
графита
и
т
.
д
.
Тигли
для
испарения
могут
быть
изготовлены
из
металлов
,
графита
,
стеклоуглерода
(
стеклографита
),
нитрида
бора
,
из
тугоплавких
окислов
.
Тигли
из
молибдена
,
например
,
используются
для
испарения
С
u,
А
g,
А
u.
Для
испарения
веществ
,
которые
активно
вступают
в
реакцию
с
тугоплавкими
металлами
,
применяют
тигли
,
изготовленные
по
керамической
технологии
из
окислов
.
Обычно
это
тугоплавкие
окислы
ThO
2
, BeO, ZrO
2
, Al
2
O
3
, MgO, TiO
2
.
Из
керамических
тиглей
испаряют
Sb,
А
s,
В
i,
Те
,
М
n,
Т
e
и
другие
элементы
.
Нагрев
тиглей
осуществляется
за
счет
теплового
излучения
раскаленной
нити
,
выполненной
из
тугоплавкого
металла
.
По
конструкции
испарители
тигельного
типа
разделяются
на
открытые
(
обычно
как
на
рис
. 2.6
) и
замкнутые
,
дискретного
действия
,
конструкция
которых
сугубо
индивидуальна
.
Существенным
недостатком
испарителей
тигельного
и
поверхностного
типа
являются
потери
испаряемого
материала
,
пар
из
испарителя
выходит
,
когда
заслонка
закрыта
,
и
осаждение
слоя
не
производится
.
От
этого
недостатка
свободны
замкнутые
испарители
дискретного
действия
.
Пар
из
этих
испарителей
выходит
только
тогда
,
когда
поднят
затвор
,
и
в
этот
период
производится
осаждение
материала
на
подложку
.
Инерционность
подобных
испарителей
в
20—30
раз
меньше
,
чем
у
резистивных
испарителей
с
экраном
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 87
- 88
- 89
- 90
- 91
- …
- следующая ›
- последняя »
