Составители:
Рубрика:
84
а
)
б
)
Рис
. 2.
4
.
Различные
конструкции
держателей
подложек
Подколпачное
сменное
устройство
предназначено
для
размещения
и
вращения
оптических
деталей
в
процессе
нанесения
покрытия
.
Оно
содержат
держатель
подложек
,
обычно
выполненный
в
двух
вариантах
,
куполообразный
(
рис
. 2.4
а
)
и
плоский
(
рис
. 2.4
б
),
а
также
держатель
контрольного
образца
,
который
может
совершать
одинарное
вращение
или
быть
неподвижным
.
Контрольный
образец
необходим
в
том
случае
,
когда
контроль
толщины
слоя
во
время
осаждения
осуществляется
фотометрическим
методом
.
Улучшенные
установки
отличаются
от
стандартных
наличием
вспомогательных
средств
откачки
,
например
,
гетероионных
насосов
.
Разборные
соединения
чаще
всего
выполняются
из
эластомеров
,
обеспечивающих
возможность
прогрева
.
Сверхвысоковакуумные
установки
изготовляют
цельнометаллическими
,
а
разборные
соединения
выполняют
с
применением
медных
или
алюминиевых
прокладок
,
что
обеспечивает
возможность
их
прогрева
до
(400-450)°
С
с
целью
обезгаживания
.
Для
получения
безмасляного
вакуума
используют
гетероионные
,
криогенные
,
сорбционные
и
другие
насосы
,
а
также
их
комбинации
.
Например
,
в
сверхвысоковакуумной
установке
Р
11-450
фирмы
«
Лейбольд
-
Хереус
» (
ФРГ
)
откачка
рабочего
объема
производится
сорбционным
,
магнито
-
электроразрядным
и
титановым
насосами
до
давления
(1,33-10
-8
)
Па
.
Технологический
процесс
нанесения
оптических
пленок
требует
выполнения
ряда
операций
в
заданной
последовательности
.
Обычно
первой
операцией
при
изготовлении
покрытий
является
очистка
подложки
.
Степень
чистоты
поверхности
подложки
является
решающим
фактором
для
выращивания
и
адгезии
пленок
.
Только
на
хорошо
очищенной
подложке
возможно
получение
качественных
покрытий
с
воспроизводимыми
свойствами
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 82
- 83
- 84
- 85
- 86
- …
- следующая ›
- последняя »
