Составители:
Рубрика:
82
откачивающей
вакуумной
системы
,
подколпачного
устройства
для
крепления
напыляемых
деталей
и
их
вращения
,
испарителей
5
и
пульта
управления
работой
узлов
и
агрегатов
установки
.
Для
наблюдения
за
ходом
процесса
напыления
в
двери
камеры
имеется
иллюминатор
7
.
Чаще
всего
он
используется
при
электронно
-
лучевом
испарении
,
когда
необходимо
следить
за
режимом
работы
электронно
-
лучевого
испарителя
.
При
загрузке
и
выгрузке
напыляемых
деталей
передняя
дверь
в
колпаке
открывается
.
В
ранних
установках
и
более
современных
другого
типа
весь
колпак
поднимался
гидравлическим
цилиндром
.
В
верхней
части
колпака
установлены
кварцевые
лампы
9
с
рефлекторами
8
,
обеспечивающие
нагрев
подложек
до
температуры
(50-320)°
С
перед
напылением
пленок
,
и
осветитель
10
фотометрического
устройства
.
Подогрев
подложек
улучшает
адгезию
и
механическую
прочность
пленки
.
Место
стыка
колпака
с
рабочей
плитой
герметизируется
резиновым
уплотнением
17
.
А
18
21
Рис
. 2.2.
Вакуумная
установка
термического
испарения
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 80
- 81
- 82
- 83
- 84
- …
- следующая ›
- последняя »
