Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 28 стр.

производится в следующей последовательности:
     1. Обезжиривание путем кипячения в 20%-ном растворе соды.
     2. Обработка хромовой смесью. Подложки помещают в плоскую
фарфоровую чашку, заливают хромовой смесью, нагревая до температуры
50-70°С, и выдерживают при этой температуре 3-5 минут.
     3. Обработанную хромовой смесью подложку моют сначала
водопроводной, а затем дистиллированной водой.
     4. Вымытую подложку ставят в сушильный шкаф и сушат при
температуре 120-130°С в течение 15-20 минут.
     При обработке подложек категорически! запрещается брать их
руками. Необходимо пользоваться пинцетом.


     II. Получение металлических пленок на установке П0РА-1М
     Термическое испарение металлов (преимущественно А1 и Cu)
производится на вакуумной установке П0РА-1М, упрощенная вакуумная
схема которой представлена на рис.8.
     Основной        частью    поста          является   стеклянный     колпак,
устанавливаемый на металлической тарели через резиновую прокладку.
Рабочее пространство колпака разделено на 2 камеры, в каждой из которых
распыляется только один какой-то металл. Навеска металла в виде отрезка
проволоки помещается под стеклянный колпак внутрь вольфрамовой
спирали.
     В     качестве       подложки       используется     покровное     стекло,
предварительно обработанное по вышеуказанной методике.
     После загрузки подложек и навесок металла закрываем кран
"натекатель"   (9)    и   "напуск    в    форвакуумный      насос,    открываем
водопроводный кран для охлаждения диффузионного насоса, включаем
тумблер "сеть" и форвакуумный насос. При этом кран "байпас" (6) должен



                                         28