Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 29 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

29
Напуск воздуха
в форвакуумный
насос
натекатель
байпас
Высокий вакуум
1
2
3
4
5
6
7
8
9
3`
2`
Рис. 8. Схема установки ПОРА – 1М:
1- стеклянный колпак; 2,2'- вольфрамовые спирали
(2-для получения Аl; 2'-для получения Сu);
3,3'-подставки, на которые помещаются подложки
(3-для пленки Аl; 3'-для пленки Сu)
быть закрыт, а краны "высокий вакуум" (7) и (8) - открыты. При вакууме
не хуже 10
-1
торр включаем нагреватель диффузионного насоса и
полностью откачиваем систему приблизительно до давления 10
-4
торр.
Теперь можно производить распыление образца. Для этого необходимо
включить тумблер "распылитель" и, вращая рукоятку "накал испарителя";
постепенно увеличить ток через вольфрамовую спираль. Контроль тока
производится косвенно по вольтметру "накал испарителя".
Нужный режим испарителя подбирается опытным путем, наблюдая
за испарением через подложку. Нагреватель при этом становится
Натекатель
Байпас
Высокий вакуум
Напуск воздуха
в форвакуумный
насос 
                                       1
                     3`                3

                     2`                2
                                       9 натекатель
                                          Натекатель


                              7   Высокий
                                   Высокий вакуум
                                           вакуум
          Байпас
          байпас 6
                                  4


                              8

                                              Напуск воздуха
                                               Напуск  воздуха
                                             в форвакуумный
                                              в форвакуумный
                                                  насос
                          5                         насос




                  Рис. 8. Схема установки ПОРА – 1М:
                  1- стеклянный колпак; 2,2'- вольфрамовые спирали
                  (2-для получения Аl; 2'-для получения Сu);
                  3,3'-подставки, на которые помещаются подложки
                  (3-для пленки Аl; 3'-для пленки Сu)


быть закрыт, а краны "высокий вакуум" (7) и (8) - открыты. При вакууме
не хуже 10-1 торр включаем нагреватель диффузионного насоса и
полностью откачиваем систему приблизительно до давления 10-4 торр.
Теперь можно производить распыление образца. Для этого необходимо
включить тумблер "распылитель" и, вращая рукоятку "накал испарителя";
постепенно увеличить ток через вольфрамовую спираль. Контроль тока
производится косвенно по вольтметру "накал испарителя".
     Нужный режим испарителя подбирается опытным путем, наблюдая
за испарением через подложку. Нагреватель при этом становится


                                      29

Страницы