Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 30 стр.

невидимым, если толщина напыленной пленки около 1000 Å. После
окончания процесса распыления необходимо выключить распылитель и
через 10-15 минут произвести выгрузку образца. Для этого необходимо
закрыть кран 7 (кран (6) закрыт), открыть кран "натекатель" (9), напустить
воздух в рабочий объем, без усилия снять колпак и положить его на
подставку. Подложку с нанесенной пленкой следует извлекать с помощью
пинцета, а затем произвести измерение параметров полученной пленки
(количества распыленного вещества, электрического сопротивления).
Соответствующие методики приводятся ниже.
     Не выключая поста, можно загрузить новые подложки, навески
металла и произвести напыление последующих образцов (по заданию
преподавателя). Для этого необходимо закрыть краны 8 и 9 (кран (7)
закрыт), открыть кран 6 и откачать установку до давления 10-1 торр,
закрыть кран 6, открыть краны 7 и 8, откачать установку до рабочего
давления и произвести напыление пленки.
     При выполнении данной работы по заданию преподавателя можно
произвести следующие исследования:
     1) влияние расстояния между подложкой и испарителем на
параметры и качество пленки;
     2) влияние температуры испарения или напряжения накала на
скорость испарения и параметры пленки;
     3) зависимость электрического сопротивления пленки от ее
толщины;
     4) влияние степени вакуума на качество получаемых пленок.
     В отчетах, кроме результатов измерений, необходимо приводить и
качественное описание внешнего вида пленок.




                                   30