Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 42 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

42
Рис.11. Схема экспериментальной установки ионно-плазменного распыления
Напуск рабочего газа в систему осуществляется через штуцер (13), а
напуск атмосферы для разгерметизации камеры - вентилем (14).
Вакуумная схема установки, изображенная на рис.12, состоит из
рабочей камеры (1), системы откачки и напуска рабочего газа. Откачка
осуществляется форвакуумным насосом (4) типа 3 НВР-1Д и
диффузионным насосом (7) типа Tungsram. Напуск плазмообразующего
газа осуществляется и регулируется с помощью игольчатого натекателя (2)
типа НК-2Р. Давление в системе измеряется вакууметром ВИТ-2
сдатчиком ПМТ-2 (10). Ручки управления вакуумными коммуникациями
"Затвор диф. насоса" (8), "Байпас" (6), "Напуск воздуха в насос" (3) и 
 Рис.11. Схема экспериментальной установки ионно-плазменного распыления


     Напуск рабочего газа в систему осуществляется через штуцер (13), а
напуск атмосферы для разгерметизации камеры - вентилем (14).
     Вакуумная схема установки, изображенная на рис.12, состоит из
рабочей камеры (1), системы откачки и напуска рабочего газа. Откачка
осуществляется   форвакуумным     насосом    (4)   типа   3   НВР-1Д      и
диффузионным насосом (7) типа Tungsram. Напуск плазмообразующего
газа осуществляется и регулируется с помощью игольчатого натекателя (2)
типа НК-2Р. Давление в системе измеряется вакууметром ВИТ-2
сдатчиком ПМТ-2 (10). Ручки управления вакуумными коммуникациями
"Затвор диф. насоса" (8), "Байпас" (6), "Напуск воздуха в насос" (3) и

                                  42

Страницы