Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 44 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

44
Рис. 13. Пульт управления установкой ионно-плазменного распыления
На пульте управления установкой расположено (рис.13):
1-кнопка отключения форвакуумного насоса;
2-кнопка включения форвакуумного насоса;
3-индикатор включения форвакуумного насоса;
4-тумблер "Накал катода";
5-индикатор включения накала катода;
6-индикатор "Затвор диф. насоса открыт";
7-индикатор "Затвор диф. насоса закрыт";
8-прибор "Ток мишени";
9-прибор "Напряжение на мишени";
10-прибор "Ток разряда";
11-прибор "Напряжение разряда";
12-тумблер "Разряд";
13-ручка "Регулировка тока разряда";
14-индикатор включения разряда;
15-тумблер "Мишень";
16-ручка "Регулировка тока мишени";
17-индикатор включения мишени. 
    Рис. 13. Пульт управления установкой ионно-плазменного распыления


На пульте управления установкой расположено (рис.13):
     1-кнопка отключения форвакуумного насоса;
     2-кнопка включения форвакуумного насоса;
     3-индикатор включения форвакуумного насоса;
     4-тумблер "Накал катода";
     5-индикатор включения накала катода;
     6-индикатор "Затвор диф. насоса открыт";
     7-индикатор "Затвор диф. насоса закрыт";
     8-прибор "Ток мишени";
     9-прибор "Напряжение на мишени";
     10-прибор "Ток разряда";
     11-прибор "Напряжение разряда";
     12-тумблер "Разряд";
     13-ручка "Регулировка тока разряда";
     14-индикатор включения разряда;
     15-тумблер "Мишень";
     16-ручка "Регулировка тока мишени";
     17-индикатор включения мишени.

                                   44

Страницы