Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 45 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

45
Исследование основных закономерностей ионно-плазменного
распыления
Задание
1. В качестве мишени использовать диск из Fe, Ni, Cu, Mo, V (по заданию
преподавателя).
2. Получить зависимость скорости осаждения пленки (V
oc
) или толщины
(d) от следующих параметров:
a) d=f(t) при U
м
=const, I
р
= const, Р= const;
б) V
ос
=f(U
м
) при I
р
= const, Р= const, t = const;
в) V
ос
=f(I
p
) при U
м
=const, Р= const,t = const.
Параметры процесса распыления должны задаваться преподавателем
и находиться в следующих пределах:
время распыления t – 1 – 20 мин;
ток разряда I
p
- 200–600 мА
напряжение мишени U
м
– 800–3200 В;
давление газа Р – 70–90 дел.
В качестве плазмообразующего газа использовать аргон с содержанием
примесей 0,05%.
Порядок выполнения работы
Внимание!
Работать на установке, строго выполняя все пункты инструкции.
ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ
1. Во избежание поражения электрическим током при включенной
установке не прикасаться к выводам анода и мишени.
2. При откачке вакуумной системы стеклянный колпак должен быть
накрыт защитной сеткой.
Получить стеклянные подложки, обработать их, как в предыдущих 
      Исследование основных закономерностей ионно-плазменного
                             распыления

                                     Задание
1. В качестве мишени использовать диск из Fe, Ni, Cu, Mo, V (по заданию
преподавателя).
2. Получить зависимость скорости осаждения пленки (Voc) или толщины
(d) от следующих параметров:
a) d=f(t) при       Uм=const, Iр= const, Р= const;
б) Vос=f(Uм) при Iр= const, Р= const, t = const;
в) Vос=f(Ip) при    Uм=const, Р= const,t = const.
      Параметры процесса распыления должны задаваться преподавателем
и находиться в следующих пределах:
      время распыления          t – 1 – 20 мин;
      ток разряда         Ip - 200–600 мА
      напряжение мишени         Uм – 800–3200 В;
      давление газа       Р – 70–90 дел.
В качестве плазмообразующего газа использовать аргон с содержанием
примесей 0,05%.
                         Порядок выполнения работы
                                   Внимание!
   Работать на установке, строго выполняя все пункты инструкции.
                         ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ
1. Во избежание поражения электрическим током при включенной
установке не прикасаться к выводам анода и мишени.
2. При откачке вакуумной системы стеклянный колпак должен быть
накрыт защитной сеткой.


      Получить стеклянные подложки, обработать их, как в предыдущих


                                        45

Страницы