Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 47 стр.

12. Поворачивая ручку "Регулировка тока разряда" установить требуемый
ток. В момент зажигания разряда значение вакуума за счет газовыделений
со стенок системы может ухудшиться. Если показания вакуумметра при
этом упадут ниже 40 дел. - немедленно выключить тумблеры "Разряд" и
"Накал катода". Через несколько минут после зажигания разряда давление
в системе должно установиться до первоначального значения.
13. Включить тумблер "Мишень". Загорается зеленый индикатор.
14. Плавно поворачивая ручку "Регулировка тока мишени" по часовой
стрелке, установить нужное напряжение на мишени. С этого момента
начинается процесс распыления мишени и осаждения пленки на подложке.
     Во время распыления необходимо постоянно следить за показаниями
приборов. При зашкаливании стрелок приборов "Ток разряда" или "Ток
мишени" немедленно выключить тумблеры "Разряд" и "Мишень".
15. После получения пленки нужной толщины напряжение на мишени
уменьшить до нуля. Выключить тумблер "Мишень". Ручку "Регулировка
тока разряда" вывернуть против часовой стрелки до упора. Тумблер
"Разряд" выключить. Тумблер "Накал катода" выключить.
16. Закрыть натекатель (до упора).
17. Через 10-15 мин закрыть "Затвор диф. насоса".
I8. Открыть кран "Напуск воздуха в систему".
19. Снять колпак. Извлечь из держателя подложки с пленкой.
     В случае необходимости повторного напыления поместить в
держатель новые подложки.
20. Закрыть кран "Напуск воздуха в систему".
21. Закрыть камеру колпаком.
22. Закрыть вентиль "Форвакуум".
23. Открыть вентиль "Байпас". Когда давление в системе достигнет
величины 10-1 торр закрыть вентиль "Байпас", открыть вентили
"Форвакуум" и "Затвор диф. насоса".

                                     47