Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 46 стр.

работах, и закрепить в держателе. Закрыть систему колпаком.
                          Исходное положение:
Вентили "Байпас", "Форвакуум", "Затвор диф. насоса" - закрыты. Вентиль
"Напуск воздуха в насос" - открыт. Все тумблеры выключены, ручки
"Регулировка тока разряда" и "Регулировка тока мишени" - в крайнем
левом положении (выведены). Натекатель и кран "Напуск воздуха в
систему" - закрыты.
                          Включение установки
1. Закрыть вентиль "Напуск воздуха в насос".
2. Открыть воду (средний кран на стене). Высота фонтанчика - до отметки
на стеклянной колбе.
З.   Включить     форвакуумный     насос   нажатием    верхней    кнопки
"Форвакуумный насос". При этом загорается зеленый индикатор над
кнопкой и белый индикатор "Затвор диф. насоса закрыт".
4. Открыть вентили "Фор. насос" и "Байпас".
5. Открыть вентиль "Затвор диф. насоса" вращением его против часовой
стрелки. При этом загорается красный индикатор "Затвор диф. насоса
открыт".
6. Закрыть вентиль "Байпас".
7. Когда давление в системе достигнет 10-1 торр или 12 дел. по шкале
вакууметра, включить тумблер "Диф. насос". При этом загорается зеленый
индикатор.
8. Откачать систему до предельного вакуума (примерно, 5·10-5 торр).
9. С помощью натекателя установить требуемое давление рабочего газа.
10. Включить тумблер "Накал катода". При этом загорается зеленый
индикатор. За счет газовыделений с катода величина вакуума может
ухудшиться. После обезгаживания катода давление в системе должно
восстановиться.
11. Включить тумблер "Разряд". Загорается зеленый индикатор.

                                   46