Технология материалов и изделий электронной техники. Кротова Г.Д - 43 стр.

UptoLike

43
"Форвакуум" (5) выведены на переднюю стенку каркаса.
1
2
9
6
3
8
10
7
5
4
Рис.12. Вакуумная схема установки ионно-плазменного распыления
"Форвакуум" (5) выведены на переднюю стенку каркаса.




                                              2
                     1


                                      9
                                                       3

                                          6
           10




                         8




                             7
                                                  4



                                 5




     Рис.12. Вакуумная схема установки ионно-плазменного распыления




                                     43